盐城高纯特气管道安装施工规范

气体房的选择和设计，除了简单的供气系统以外，特气房一般都单独于主场房而单独建设，其规划时需考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物的总量控制等。常规供气系统一般也采用多种气瓶柜共设在一个气体室；而对于大宗特气，会根据气体特性和相容性将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、毒性气体房等。气体房必须有良好的通风，气体房的选择和设计一般由设计院完成。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。盐城高纯特气管道安装施工规范

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。宁波室外特气管道安装配件特气管道工程是指把特殊气体从气源部分输送到用气终端的一种工程。

特种气体管道改扩建工程施工，改建、扩建、拆除特种气体管道工程的施工应符合下列规定：1 施工单位在开工前应编制施工方案;内容应包含重点部位、作业过程注意事项，危险作业过程的监控，应急预案，紧急联系电话和专门负责人，对潜在的危险应向施工人员进行详尽的技术交底；2 生产区与施工区之间应采取临时隔离措施及设置危险警示标志，施工人员不得进入与施工无关的区域；3 施工现场应有业主和施工方的技术人员在场，阀门的开关动作、电气开关动作、气体置换操作等都应由专人在业主技术人员的指导下完成，未经许可，不得操作；切割改造工作时应提前在被切割管道全线和切割处明显标识，标识管道现场需得到业主和施工方的技术人员确认。

随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。现在市面上，特气管道供应商非常的多，但是，除了少部分像奥飞克、沃飞等提供交钥匙式的特气管道安装服务的公司，大多数的厂商只是提供产品，没有管道安装这一方面的服务。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错，下面小编会以半导体生产制程用电子特种气体供气系统为例子为大家具体的来介绍：焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。

特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择施工公司和施工的过程中一定要注意安装标准规范操作。现在市面上的特气管道供应商非常的多，但是大多数的气体管道厂商只是提供产品，并不包括安装这一方面。大多数人是不知道正确安装的，下面就为大家具体的来介绍注意事项有哪些。1、 特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。2、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。盐城高纯特气管道安装施工规范

管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。盐城高纯特气管道安装施工规范

预制间的选择，特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于大宗特气项目，一般都建有一个标准的预制间。但我们在实际的施工中,大宗特气项目很少,一般都是简单系统和常规系统,为了节约成本和资金,在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工,除作业人员和检察人员外,应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。盐城高纯特气管道安装施工规范