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    如下文更详细的说明，将经冷却的进料空气流38在基于涡轮的致冷回路60中膨胀，以产生被引导至高压塔72的进料空气流64。随后将液体空气流46分成液体空气流46a、46b，然后这些液体空气流在膨胀阀48、49中部分膨胀以被引入到高压塔72和低压塔74中，而经冷却的进料空气流47被引导至高压塔72。空气分离单元10的致冷也通常由涡轮空气流回路30和其他相关的冷的和/或热的涡轮布置生成，该涡轮布置诸如设置在基于涡轮的致冷回路60内的涡轮62或任何任选的闭环加热致冷回路，如本领域中所公知的。冷端系统/设备主或初级换热器52是钎焊铝制板翅式换热器。此类换热器是有利的，因为它们具有紧凑设计、高传热速率，而且它们能够处理多个流。它们被制造为完全钎焊和焊接的压力容器。对于小型空气分离单元而言，具有单个芯的换热器可能已足够。对于处理较高流量的较大空气分离单元而言，换热器可由必须并联或串联连接的若干芯构造而成。基于涡轮的致冷回路通常被称为下塔涡轮(lct)布置或上塔涡轮(uct)布置，这些布置用于向双塔或三塔低温空气蒸馏塔系统提供致冷。在图1所示的lct布置中，经压缩且经冷却的涡轮空气流35在约20巴(a)至约60巴(a)之间的压力下。氖气具有很高的导热性，常用于制冷和冷却系统中，特别是在高温设备的散热方面。湖北Ne氖价格

    因此对空气分离单元10中其它产品构成物的分离和回收的影响小。在许多方面，图8的实施方案与图7所示的实施方案相当相似，对应的元件和物流具有对应的附图标号，但在图8中以600序列标号，在图7中以500系列标号。例如，图7中由附图标号522、525、544、545、546、548、549和550**的项目分别与图8中由附图标记号622、625、644、645、646、648、649和650**的项目相同或相似。图7的实施方案与图8的实施方案之间的主要差异在于来自空气分离单元的氮气过冷器的釜沸腾流被来自空气分离单元10的氩冷凝器78的釜沸腾流622替代。此外。由双级回流冷凝器-再沸器620产生的沸腾流625被引导至相分离器670，所得蒸气流671和液体流672被返回到空气分离单元10的低压塔74的中间位置。实施例对于本发明的回收氖气的系统和方法的各种实施方案，使用各种空气分离单元操作模型来进行多个工艺模拟以表征：(i)氖气和其他稀有气体的回收；(ii)粗氖蒸气流的组成；以及(iii)来自蒸馏塔体系的氮的净损失；当使用上述和相关附图中所示的氖气回收系统和方法来操作空气分离单元时。表1示出了针对参考图2描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表1所示。福建工业氖气多少立方过度吸入氖气可能导致窒息，因为氖气没有氧气供应。

主要用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质（例如高压氖灯、计数管等）．也用于激光技术。液氖因具有沸点低等优点，可作为26～40K之间的低温冷源。另外在高能物理方面得到应用。例如使用液氖的气泡室等。还可以氖氧混合气代替氦氧气用于呼吸。

本品在高浓度时，可使空气中氧分压降低而有窒息危险。表现有呼吸加快、注意力不集中、共济失调；继之出现疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以致死亡。进行生产时一般不需特殊防护。但当作业场所空气中氧气浓度低于18%时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。眼睛防护：一般不需特殊防护。用6ma钢瓶或2L玻璃瓶包装，外用木箱或纸箱保护。贮存于阴凉、干燥处。以容量不超过2L的玻璃瓶包装的可按普通货物运输。装卸时要轻拿轻放，防止包装破损。灭火方法：本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。

    输出镜，镀有各个波长的部分透过膜；以及多个温控炉，用于分别安放所述二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体并进行加热，通过控制温控炉温度，实现调节输出光中各个波长激光的比例。所述二倍频非线性晶体的比较好工作温度为148℃；所述三倍频非线性晶体的比较好工作温度为60℃；431为谐振腔的全反镜，镀有全部波长的全反膜，镀1064nm、532nm、355nm的高反膜。411为激光晶体，即激光器的工作物质，用于产生基频光1064nm波长。421为二倍频非线性晶体，用于二倍频过程产生532nm波长。422为三倍频非线性晶体，用于三倍频过程产生355nm波长。432为二倍频谐波镜，镀有1064nm高透膜和532nm的高透膜。433为三倍频谐波镜，镀有1064nm、532nm的高透膜和355nm的高反膜。434为输出镜，镀有各个波长的部分透过膜，可是各个波长均有一定的反射率，在腔内形成振荡。同样，非线性晶体421、422均已经调节到比较好工作位置，且每个晶体均固定在精确温度控制的温控炉内，温控炉统一由驱动控制器控制温度要求。如二倍频非线性晶体比较好工作温度为150℃，三倍频非线性晶体比较好工作温度为50℃。当偏离比较好工作温度时，将会使得频率转换效率降低，当偏离温度过多，如超过10℃甚至更高。在高能粒子检测和研究用的气泡室中经常使用液氖。

    Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。氖的三相点温度只比它的标准沸点低约2.5K。浙江高纯氖气哪家好

工业气体液氖具有沸点低、蒸发潜热较高、使用安全等特点。湖北Ne氖价格

    预纯化单元28通常包含根据变温和/或变压吸附循环操作的氧化铝和/或分子筛的两个床，在该吸附循环中水分及其他杂质(诸如二氧化碳、水蒸气和烃类)被吸附。这些床中的一个床用于预纯化该冷却且干燥的经压缩空气进料，而另一个床是利用来自空气分离单元的废氮的一部分再生的。这两个床定期交换功用。在设置在预纯化单元28下游的粉尘过滤器中，从经压缩且预纯化的进料空气中移除颗粒以产生经压缩且纯化的进料空气流29。该经压缩且纯化的进料空气流29在包括高压塔72、低压塔74和任选的氩塔76的多个蒸馏塔中被分离为富氧馏分、富氮馏分和富氩馏分(或氩产物流170)。然而，在这种蒸馏之前，通常将经压缩且预纯化的进料空气流29分成多个进料空气流42、44和32，该多个进料空气流可包括锅炉空气流42和涡轮空气流32。锅炉空气流42和涡轮空气流32可在压缩机41、34和36中进一步压缩，并且随后在后冷却器43、39和37中冷却以形成经压缩物流49和33，这些经压缩物流然后被进一步冷却至主换热器52中的精馏所要求的温度。通过与包括氧气流190的加热流和来自蒸馏塔系统70的氮气流193、195的间接换热来在主换热器52中完成对空气流44、45和35的冷却，以产生经冷却的进料空气流47、46和38。湖北Ne氖价格