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Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。氖，就选上海利兴斯化工有限公司，让您满意，欢迎您的来电哦！上海高纯氖气价格
进入冷箱内的主换热器3。作为一个推荐实施例，所述氮气从主换热器3冷端抽出后进入一级精馏塔4的***冷凝蒸发器9与液氮混合生成低温氮气，温度为约℃。作为一个推荐实施例，所述氮气从主换热器3中部抽出后进入冷箱内，生成较低温氮气，温度为-70℃。作为一个推荐实施例，所述低温氮气为一级精馏塔4中***冷凝蒸发器9的冷源，其中配比为420n·m3/h，-118℃氮气与200n·m3/h液氮，得到-180℃的低温氮气320n·m3/h。通过本实施例可知，本发明采用液氮和氮气的混合气作为冷源，可稳定的维持各冷凝蒸发器的操作温度，保证精馏的顺利的进行；通过对较高温度氮气的预冷，回收了出主换热器3氮气的冷量，有-35℃，升为-12℃甚至可以更高，液氮使用量有250l/h，降到150l/h(可更低)，降幅为40％。产生了巨大的经济效益。通过对氮气的回收循环利用，氪氙精制工艺中的液氮或氮气消耗量会大幅度降低，从而降低了能耗和生产成本。循环氮气量至少占到系统使用的70％以上，液氮节约量至少为70％。实施例2如图1所示，本发明实施例还提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的装置，包括：用于氪氙精制的分馏塔2，包括：位于一级精馏塔4塔内，以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器9。江苏液氖上海利兴斯化工有限公司致力于提供氖，有需要可以联系我司哦！
和分别位于二级精馏塔5塔内、纯氪塔6塔内、粗氙塔7塔内、纯氙塔8塔内，以不同比例低温氮气与常温氮气混合后得到的较低温气体为冷源的第二冷凝蒸发器10、第三冷凝蒸发器11、第四冷凝蒸发器12、第五冷凝蒸发器13；用于汇总从各冷凝蒸发器出来的氮气并复热的主换热器3；以及用于接受复热后的氮气并增压的循环压缩机1；其中，所述一级精馏塔4与所述二级精馏塔5连接；所述二级精馏塔5分别与所述纯氪塔6和所述粗氙塔7连接；所述粗氙塔7与所述纯氙塔8连接；所述分馏塔2与所述主换热器3连接。所述循环压缩机1分别与所述分馏塔2和所述主换热器3连接。氪氙混合物经前端氪氙粗制设备浓缩后(kr：～％，xe：～％，其余为氧、氮、碳氢化合物、氟化物等)经过管道或者容器加入到分馏塔2内的一级精馏塔4中(操作压力～，温度收压力及组分变动影响，一般为-125～-170℃)，在去除低沸点组分(一般为混入的氧气、氮气等)后，送入二级精馏塔5，二级精馏塔5的操作压力比一级精馏塔4略低，一般在～，杂质含量减少，操作温度会比较稳定，一般为-130℃。在其中分离为高沸点的粗氙气和低沸点的粗氪气，其中粗氪气送入纯氪塔6(操作压力为～，操作温度为：-135℃)，在纯氪塔6中，高沸点组分。
或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的单元。在图7和图8的实施方案中，冷凝器-再沸器520、620是双级冷凝器-再沸器，该双级冷凝器-再沸器提供双级别致冷以将来自不可冷凝物汽提塔510、610的大部分塔顶馏出蒸气529、629部分冷凝。图7所示的回流冷凝器-再沸器520被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔510的包含氖气和其他不可冷凝物的塔顶馏出气体529、包括从空气分离单元10的氮气过冷器转移来的釜沸腾流的冷凝介质522、以及包括经由经过冷液氮回流流的阀546的节流部分的第二冷凝介质548。该双级回流冷凝器-再沸器520被构造成产生作为回流返回到不可冷凝物汽提塔510的液氮冷凝物流545、被引导至空气分离单元10的氩冷凝器78的双相汽化流525、以及被从冷凝器-再沸器520的顶部抽出并且包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流550。该粗氖蒸气流还可包含大于约10％摩尔份数的氦气。将汽化流549从相分离器544中移除并进料至废物流93中。与其他上述实施方案一样，例示的不可冷凝气体回收系统的总体氖气回收率高于95％。所描绘的不可冷凝气体回收系统的附加有益效果是液氮消耗低，并且由于大量液氮被再循环回到低压塔。氖，就选上海利兴斯化工有限公司，让您满意，欢迎您的来电！
包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。并且，在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个公开方面中的一个或多个，在上面对本公开的示例性实施例的描述中，本公开的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本公开要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，公开方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本公开的单独实施例。以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述*为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内。氖，就选上海利兴斯化工有限公司，用户的信赖之选，有需求可以来电购买氖！贵州高纯氖是什么
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通过设置不同的多倍频非线性晶体并通过加热炉对非线性晶体进行温度控制，不需要引入大量多余的晶体和分光镜片，又能保证多波长沿着同一输出光路输出，且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节。还需要说明的是，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，*是参考附图的方向，并非用来限制本公开的保护范围。贯穿附图，相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在可能导致对本公开的理解造成混淆时，将省略常规结构或构造。并且图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例，而*示意本公开实施例的内容。另外，在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。除非有所**为相反之意，本说明书及所附权利要求中的数值参数是近似值，能够根据通过本公开的内容所得的所需特性改变。具体而言，所有使用于说明书及权利要求中表示组成的含量、反应条件等等的数字，应理解为在所有情况中是受到「约」的用语所修饰。一般情况下，其表达的含义是指包含由特定数量在一些实施例中±10％的变化、在一些实施例中±5％的变化、在一些实施例中±1％的变化、在一些实施例中±％的变化。再者。上海高纯氖气价格