真空泵 罗茨泵（罗茨真空泵） 螺杆泵（螺杆真空泵） 水环真空泵 氦检漏仪（氦质谱检漏仪） 涡旋泵（干式涡旋真空泵） 单级旋片真空泵 双级旋片真空泵 涡轮分子泵 无油真空泵 无油活塞真空泵 干式复合真空泵