江苏半自动探针台设备

承片台结构设计要具有实现自动对准的兹 向 旋转，兹 向旋转的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圆上的分度精度要臆0.05° ；为了实现与探针的紧密接触稳定地抬升、有效地达到接触 位置的精度，抬升机构的进给精度要高，同时承片 台要具备极高的刚性，而且在150 mm 的台面上 刚度一致是非常重要的。通过在Z 轴方向的往复 移动，实现高刚性、稳定的探针接触。承片台旋转结构在设计上采用THK 超精密 交叉滚柱轴环RB 型（外圈分隔，内环旋转）支撑 旋转。在交叉滚柱轴环中，因圆柱形滚柱在呈 90° 的V 形沟槽滚动面上通过间隔保持器被相互垂直排列。使得单个轴承就可承受径向、轴向及 力矩负荷等所有方向的负荷，具有很高的刚性。又 由于内圈或外圈是分隔的构造，轴承间隙可调整。探针台的建设需要全球头脑的智慧和力量。江苏半自动探针台设备

平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。广东12寸探针台价位探针台的建设和发展需要长期的投入和坚定的信心。

焊接各接口时保证焊接可靠性与密封性，腔体所有零部件连接部位均要考虑密封结构，目前 国内比较普遍应用的密封形式分为KF、CF 和 ISO 密封形式，密封圈材料有丁腈橡胶和氟橡胶 两种。在探针台测试领域一般选择KF 密封形式 和氟橡胶材料密封圈，主要特点是装配方便，氟橡 胶耐真空、耐高温、耐腐蚀性好。腔体加工完成后要进行真空检漏试验，对腔 体整体真空度漏率要求小于10～8 Pa·L/s。真空探针台工作台结构，工作台结构是真空探针台设备的关键部件之 一，在探针测试过程起着至关重要的作用。工作台 部分完全置于真空腔体内，主要包括XY 工作台和承片台两部分。

探针台主要应用于半导体行业、光电行业。针对集成电路以及封装的测试。 探针台厂家生产的探针台普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。激光探针台，探针台应用范围：8寸以内Wafer，IC测试，IC设计等；激光探针台测试内容：1. 微小连接点信号引出；2. 失效分析失效确认；3. FIB电路修改后电学特性确认；4. 晶圆可靠性验证；5. 激光打标；6. 表层修复线路；7. 驱除短路点；8. 激光断线；9. 干扰芯片测试。探针台的建设需要克服很多技术难题。

探针台分类，探针台从操作上来区分有:手动，半自动，全自动，从功能上来区分有:温控探针台，真空探针台(较低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。经济手动型，根据客户需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选)；X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选)；chuck Z轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离；显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)；显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)；探针座:有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关；可搭配Probe card测试；适用领域:晶圆厂、研究所、高校等。探针台的工作需要合理规划和有条不紊的执行。河南探针台生产厂家

探针台的科学研究成果对推动人类的科学技术进步有着举足轻重的作用。江苏半自动探针台设备

极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。江苏半自动探针台设备