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    在外力驱动下实现固定架驱动片盒架的转动。片盒架安装在从动轮盘与行星架的行星轮之间，通过行星架的行星轮与太阳轮以及齿圈的连接，构成片盒架的自转部分。限位轮座安装在底板上、轴承安装在限位轮座上，对驱动轮盘进行限位支撑；横向安装轴安装在竖向杆上，与齿圈固定板的安装凸轴构成与槽体连接的部分。片盒架设置有转动杆，转动杆可在限位盘和第二限位盘之间活动，方便晶圆放置和拆卸。本实施例晶圆加工固定装置通过驱动轮盘带动整体多个片盒架转动，可以使浸泡在药液中的晶圆充分清洗，提高终的清洗效果；且可通过行星轮与齿圈的连接，实现片盒架的自转，使晶圆加工更加均匀；同时，支持多种片盒架，通过更换片盒架形式，可以多个相同晶圆同时清洗，也可实现不同尺寸的晶圆同时清洗。可见，本实施例晶圆加工固定装置在固定架旋转的同时，片盒架还可带动晶圆进行自转，避免槽式清洗中单一的抖动形式，结构紧凑简单，能够提高晶圆加工均匀性和终效果。本实施例还提供一种晶圆加工设备，包括本实施例提供的晶圆加工固定装置。自然。泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。共晶机厂家就找泰克光电。浙江共晶机厂家供应

    我们都能提供适合的共晶解决方案。连接杆的设置应当避免影响片盒架的转动。具体而言，片盒架包括同轴相对设置的限位盘和第二限位盘，限位盘与第二限位盘之间设置有多根限位杆，多根限位杆沿限位盘的周向间隔设置，多个限位杆之间形成晶圆的放置空间。限位盘与第二限位盘相互远离的侧面分别通过转动轴与驱动轮盘和从动轮盘转动连接，且转动轴与驱动轮盘的轴线平行设置。也即，如图所示，个片盒架中每个片盒架的限位盘的左侧通过转动轴与驱动轮盘连接，第二限位盘的右侧通过转动轴与从动轮盘连接。转动轴的轴线与驱动轮盘和从动轮盘的中心共线，在限位盘与第二限位盘之间设置有多根平行设置的限位杆。作为一个具体实现方式，如图所示，限位杆的数量为三根，三根限位杆包括两根固定杆和一根转动杆，两根固定杆的两端分别与限位盘和第二限位盘固定连接。转动杆的两端与限位盘和第二限位盘可拆卸连接，和/或转动杆的两端与限位盘和第二限位盘滑动连接，且转动杆的两端能够相对限位盘和第二限位盘固定。也即，转动杆可以是可拆卸的安装方式，也可以是可滑动的方式。泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备。重庆固晶共晶机设备国内比较好的固晶机厂家泰克光电。

    -第二限位盘；-晶圆。具体实施方式下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图和图所示，本实施例提供一种晶圆加工固定装置，用于在晶圆的清洗步骤中，固定晶圆。该晶圆加工固定装置包括安装座、固定架和片盒架。固定架可转动的安装在安装座上，片盒架可转动的安装在固定架上。固定架能够带动片盒架一起转动，且片盒架能够同步相对固定架自转，固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置。可以理解的是，固定架的旋转轴线也即是固定架围绕转动的旋转轴所在的直线，片盒架的旋转轴线也即是片盒架自转的旋转轴所在的直线。泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。

    所述驱动轮盘设置在所述齿圈固定板背离所述竖向杆的一侧，所述从动轮盘与所述竖向杆面向所述齿圈固定板的一侧转动连接；所述底板上对应所述驱动轮盘的周向边缘设置有轴承，所述驱动轮盘的周向边缘转动设置在所述轴承上。进一步地，所述底板还设置有相对设置的两个限位轮座，所述轴承和驱动轮盘设置在两个限位轮座之间。进一步地，所述齿圈固定板连接有安装凸轴；所述竖向杆上设置横向安装轴。进一步地，所述齿圈固定板与所述竖向杆的顶端之间连接有拉杆。本发明提供的晶圆加工设备，包括如上述任一项所述的晶圆加工固定装置。本发明提供的晶圆加工固定装置，包括安装座、固定架和片盒架，固定架可转动的安装在安装座上，片盒架可转动的安装在固定架上；固定架能够带动片盒架一起转动，且片盒架能够相对固定架自转，固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线非共线设置。本发明提供的晶圆加工固定装置，在使用过程中，先将晶圆放置到片盒架上，然后将片盒架安装到固定架上，固定架通过安装座安装在清洗槽上。泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者。泰克光电共晶机源头厂家。

    锁定同义词wafer一般指晶圆本词条由“科普中国”科学百科词条编写与应用工作项目审核。晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底（也叫基片）。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。[1]在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99%。中文名晶圆外文名Wafer本质硅晶片纯度99作用制作硅半导体集成电路形状圆形晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。首先是硅提纯，将沙石原料放入一个温度约为2000℃，并且有碳源存在的电弧熔炉中，在高温下，碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应（碳与氧结合，剩下硅），得到纯度约为98%的纯硅，又称作冶金级硅，这对微电子器件来说不够纯。泰克光电共晶机通过控制热能和加压条件，使液态的金属共晶落在设定的位置上，形成微小的凸起部分！泉州固晶共晶机公司

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    槽式清洗机以高效、可靠和批量清洗等特性被应用。随着晶圆尺寸变大和晶圆表面的数字化图形尺寸变小，为了保证晶圆加工的均匀性和终清洗效果，对槽式清洗机的要求越来越高。如何提高晶圆的清洗均匀性是目前一直在研究的重要课题。技术实现要素：本发明的目的在于提供一种晶圆加工固定装置，以提高晶圆的清洗均匀性。本发明的目的还在于提供一种晶圆加工设备，以提供晶圆的清洗均匀性。本发明提供的晶圆加工固定装置，包括安装座、固定架和片盒架，所述固定架可转动的安装在所述安装座上。泰克光电（TechOptics）是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备，以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者，泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成，他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片，我们都能提供适合的共晶解决方案。所述片盒架可转动的安装在所述固定架上；所述固定架能够带动所述片盒架一起转动。浙江共晶机厂家供应