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分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速*为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。干泵国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,**提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa。想要价格实惠的真空泵就选威克预应力。柳江区真空泵网上价格
2.合适的粘度和良好的粘温特性真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。3.良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展,由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高,油品很容易氧化分解,尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作,使系统内蒸气压升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性真空泵吸入的如果是腐蚀性气体,会与油发生化学反应,腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀,所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。5.较高的闪点主要要求真空泵中不携带轻质组分,以免影响油品的饱和蒸气压。6.较低的极限压力极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在**低真空极限压力下真空泵的极限压力。特点及注意事项真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到**佳配置,选择真空系统时。柳江区真空泵网上价格威克预应力真空泵,厂家直销全国各地。
由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀真空泵的功能特点分类凡是从设备中抽出气体,使设备内部达到真空的机械称为真空抽气机或真空泵。从结构上真空泵大致可分为:往复式真空泵、回转式真空泵和射流式真空泵等。1、往复式真空泵。往复式真空泵适用于抽送不含固体颗粒、无腐蚀性的气体。这种真空泵的抽气速率较大,真空度较高。故在化工厂中广泛应用。但其结构复杂,维修量大。2、水环真空泵。水环式真空泵是回转真空泵的一种。3、射流式真空泵。射流式真空泵是利用一种压力较高的工作流体来输送另一种流体。循环水真空泵***用于蒸发蒸馏、结晶、过滤、减压、升华等作业,低温冷却循环水真空泵是真空泵和低温冷却泵的结合。即可以抽真空,又可以提供低温冷却循环水,是减压蒸馏和减压浓缩的良好辅助设备,特别适应配备旋转蒸发器,不但减少了使用空间,而且降低了真空度,节省了水资源,被现代实验室***装备。[2]罗茨泵发明历程1647年有一位法国物理学家叫罗伯维尔(),做了一个有趣的实验,他从鲤鱼肚里取出鱼鳔,尽可能将里面空气排尽,再把开口扎紧。
活塞式真空泵1×105~×1021×105旋片式真空泵1×105—×10-11×105水环式真空泵1×105—×1031×105罗茨真空泵×103—×103涡轮分子泵—×10-5水蒸气喷射泵1×105—×10-11×105油扩散泵×10-2—×10-7×10油蒸气喷射泵×10—×10-2<×105分子筛吸附泵1×105—×10-11×105溅射离子泵×10-3—×10-9×10-1钛升华泵×10-2—×10-9×10-2锆铝吸气剂泵×10—×10-11×10低温泵—×10-11—×10-1机械分类按其工作原理,基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、旋片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等。工业中应用**多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵真空泵主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单。 买真空泵设备就找威克预应力。
其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时。 真空泵是什么?哪里有?柳江区真空泵网上价格
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