湖州防静电烤漆氮气柜普通款湿度20-60RH%
深冷空分制氮原理:分子筛制氮机工艺流程图深冷制氮不但可以生产氮气而且可以生产液氮,满足需要液氮的工艺要求,并且可在液氮贮槽内贮存,当出现氮气间断负荷或空分设备小修时,贮槽内的液氮进入汽化器被加热后,送入产品氮气管道满足工艺装置对氮气的需求。深冷制氮的运转周期(指两次大加温之间的间隔期)一般为1年以上,因此,深冷制氮一般不考虑备用。而变压吸附制氮只能生产氮气,无备用手段,单套设备不能保证连续长周期运行。膜空分制氮原理:空气经压缩机压缩过滤后进入高分子膜过滤器,由于各种气体在膜中溶解度和扩散系数不同,导致不同气体在膜中相对渗透速率不同。根据这一特性,可将各种气体分为“快气”和“慢气”。当混合气体在膜两侧压力差的作用下,渗透速率相对快的气体,如水、氢气、氦气、硫化氢、二氧化碳等透过膜后,在膜的渗透侧被富集,而渗透速率相对较慢的气体,如甲烷、氮气、一氧化碳和氩气等气体则被滞留在膜的侧被富集,从而达到混合气体分离的目的。高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。湖州防静电烤漆氮气柜普通款湿度20-60RH%
氮气柜
全自动氮气柜是利用氮气来达到防氧化防潮目的柜体,密闭柜体本身具有送氮和排气的通路。根据应用要求可配置不同的控制功能,被广泛应用在微电子,半导体等行业。随着防潮科技的不断发展创新,防潮除湿设备越来越出层创新,目前市场上比较流行的防潮设备有电子防潮箱和全自动氮气柜,其中两者的区别:全自动氮气柜主要体现在具有可充氮的功能,其主要作用是用来防潮防氧化的,防潮速度快,对于比较贵重的芯片需要防氧化的物件可以选择氮气柜。电子防潮箱只能防潮不能防氧化,防潮速度与氮气柜比较慢。一个可充氮气是两者的区别,其次区别就是对于湿度控制,电子防潮柜中的中湿度和低湿度都可对湿度进行控制,而氮气柜对于湿度的控制是全自动的,其控湿范围是在1%-60%。两者都具有存储的作用,各有优点和缺点。主要还是根据自己所需的用途挑选。湖州防静电烤漆氮气柜普通款湿度20-60RH%进口组件显示器,温湿度同时显示,直观明确,性能稳定。
采用气体分离工艺可将空气中的氮气和氧气分离生产氮气,通常使用一种特殊处理过的活性碳即碳分子筛分离空气。碳分子筛的孔径在氮气和氧气分子的直径范围内,由于氧分子比氮分子体积小,因此先被吸附在碳分子筛表面。氮分子通过分子筛床层排出进入储罐达到制氮的目的,氧分子通过设备解吸排放到大气内,达到分子筛再生的目的。经过一段时间吸附后,碳分子筛被所吸附的氧分子饱和需进行再生,再生是通过降压解吸予以实现。由于碳分子筛在低压时不能再吸附气体分子,大多数分子在降压时被排空,此种过程称为脱附。为达到连续供气,通常采用多塔式操作,在吸附筒a处于吸附状态时,吸附筒b为脱附状态,并且利用时间控制与切换,两筒互相转换为吸附与脱附状态。至于变压吸附制氮机生产的氮气则流入氮气槽,以供工厂制程使用。在开机时,由于受限于吸附筒内存在大量空气,因此要达到稳定操作时都需要经过一段时间,例如30分钟到2个小时,亦即影响生产时等待的时间。此种情况在使用多台氮气机的情况尤其严重,当氮气量不够使用,急需启动另一台氮气机时,需要花费过长的时间在等待,造成现场气源不足或纯度下降的困境。另一种情况为碳分子筛生产的工厂。
氮气柜的产品特点:一、显示方式:进口组件显示器,温湿度同时显示,直观明确,性能稳定。二、柜体结构:氮气柜采用密闭柜体,专业设计气密性佳,存放重物不变形。附脚轮及支架方便移动及定位。多层防锈烤漆处理,防腐性强,耐磨且不易脱落,钢板厚度1.0MM。三、配件氮气柜所用钢制隔板三块,存放重物更安全。四、氮气节约装置:采用微电脑自动感应控制,搭配客户氮气使用,湿度超过设定值后,会自动喷入氮气,当湿度达到设定值后,自动停止。全部工作过程均有程序控制完成。
变压吸附法分离空气的机理有两种。一种是利用5a沸石分子筛的选择吸附特性,即5a沸石分子筛对氮气的平衡吸附量大于对氧气的平衡吸附量,这样当空气通过沸石床层时氮气就被吸附,流出氧气作为产品。当沸石吸附氮气饱和后,停止通入空气,并把床层抽成真空,抽出的氮气作为产品。另一种是利用碳分子筛的运态吸附特性,即碳分子筛对氧气和氮气的平衡吸附量相差不大,但由于氧气的分子尺寸(×)比氮气的分子尺寸(×)小,因而氧气在碳分子筛中的扩散速度快,吸附量也大,于是氧气在碳分子筛中的扩散速度快,吸附量也大,于是氧气被吸附,流出氮气作为产品。隔一段时间后,停止通入空气,把床层抽真空使碳分子筛再生。该法通常是在吸附阶段为~×106pa、解吸阶段为常压或真空及常温的条件下进行的,在工业上很容易实现。1.2厚钢板防静电烤漆或不锈钢结构柜身,密封性佳。浙江1.2厚钢板氮气柜规格尺寸
当作业场所空气中氧气浓度低于18%时,必须佩戴空气呼吸器、长管面具。湖州防静电烤漆氮气柜普通款湿度20-60RH%
全功能洁净氮气柜:产品应用:适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象;由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境,只控制湿度及氧含量浓度这块,并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存,同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标:1)洁净等级专业高效洁净过滤装置,滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100(10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下,必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3)降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒,在氮气流量不大于70L/M的情况下,湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机:采用进口无尘室FFU风机,面风速:~;5)静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒,经过干燥2小时后,硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6)柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。湖州防静电烤漆氮气柜普通款湿度20-60RH%
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