佛山本地微孔陶瓷真空吸盘推广

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。佛山本地微孔陶瓷真空吸盘推广

B、成型压力

成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的，压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小，则烧后产品的密度小，产品收缩大，坯体压实程度不够容易出现分层；而压力太大，坯体也容易出现裂纹、分层和脱模困难等现象。合适的成型压力需要通过生产实践来摸索。

C、加压方式

般干压成型时加压方式有两种，一种是单面加压，另一种是双面加压。当单面加压时，则直接受压的一端压力大，出现明显的压力梯度，粉料的流动性越差，则坯体内出现的压力差也就越大，越容易出现分层。双面加压时，坯体两端直接受压，因此两端密度大，中间密度小，其压力梯度的有效传递距离为单面加压的一半，故坯体的密度比单面加压要均匀得多。因此氧化锆陶瓷干压成型时宜采用双面加压的方式。 深圳进口微孔陶瓷真空吸盘价格使用者通常是机器操作员。

    离子交换法层状硅酸纳晶体与十八烷基三甲基溴化铵在水中充分混合,硅酸盐层间的阳离子与铵盐阳离子将自发地进行交换,由于铵盐离子体积较大,硅酸盐的片层结构会因铵盐的引入而发生弯曲变形,弯曲的片层之间发生缩聚,将有机物包围在片层当中,经高温烧结除去有机物,即形成多孔SiO2。目前,人们正在研究这种多孔材料的稳定性和比表面积问题,并期望将其应用于催化或吸附系统中。应用载体多孔陶瓷具有良好的吸附能力和活性。被覆催化剂后，反应流体通过泡沫陶瓷孔道，将**提高转化效率和反应速率。由于多孔陶瓷具有比表面积高、热稳定性好、耐磨、不易中毒、低密度等特点，作为汽车尾气催化净化器载体已被***使用除了作催化剂载体外，它还可以作为其它功能性载体，例如药剂载体、微晶载体、气体储存等。

    高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用***用于平坦，无孔表面的工作平台。产品种类：陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等；材料：氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。 使用者通常是机器操作员。 在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。

二、烧成

氧化锆在不同温度下，存在着三种同质异形体，即立方晶系、单斜晶系和四方晶系。氧化锆晶形的转变温度如下：

由单斜晶系转化为四方晶系时伴有7％左右的体积变化。加热时由单斜一氧化锆转变为四方一氧化锆发生体积收缩；冷却时由四方一氧化锆转变为单斜一氧化锆发生体积膨胀，这种收缩与膨胀并不发生在同一温度，前者约为1200ºC，后者约为1000ºC。

氧化锆陶瓷的烧结温度随原料的制备方法、细度、添加剂种类和加入量的多少而不同，一般在1500～1650ºC之间，因此氧化锆陶瓷没有统一的烧成曲线，其适宜的烧成制度要通过烧成试验能得到。氧化锆陶瓷的烧成由于伴随着体积的变化，很容易出现开裂，因此烧成曲线的选择在氧化锆陶瓷烧成过程中是非常重要的。要注意控制升温速率，特别在其晶相转变温度区域内，升温速率要放慢，对厚胎和大件制品更要注意升温速率。在1100ºC以上降温速率也要控制好，不能太快，否则也会出现开裂。 吸附面材料为多孔陶瓷，实现了高精度自动切割。东莞原装微孔陶瓷真空吸盘

材料：氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅.佛山本地微孔陶瓷真空吸盘推广

(6)分散剂

为了提高浆料的固含量，无论是水基体系还是非水基体系均需加入分散剂。分散剂可以提高浆料的稳定性，阻止颗粒再团聚，进而提高浆料的固含量。

(7)消泡剂和表面活性剂

为了防止浆料在浸渍和挤出多余浆料的过程中起泡而影响制品的性能，需加入消泡剂，一般采用低分子量的醇和硅酮。陶瓷浆料为水基浆料时，如果有机泡沫与浆料之间的润湿性差，在浸渍浆料时就会出现泡沫结构的交叉部分附着较厚的浆料，而在结构的桥部和棱线部分附着很薄的浆料的现象。这种情况严重时会导致烧结过程中坯体开裂，使多孔陶瓷的强度明显降低。因此，通常采用添加表面活性剂的方法以改善陶瓷浆料与有机泡沫体之间的附着性来解决此问题。 佛山本地微孔陶瓷真空吸盘推广

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