吉林3D 视觉测量传感器品牌

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯提供非接触式传感器（测量力小）在内的多种传感器，以及显象或测量计算机。吉林3D 视觉测量传感器品牌

在半导体行业应用：LED芯片三维测量LED晶圆光学检测BGA半导体封装光伏晶圆表面形貌测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件，即使它们位于移动产线上、在高温环境中，甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少，因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此，对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用，它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟，具有高度重复性。这样可以控制高达100％的涂层部件，严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状浙江3D 视觉测量传感器测量速度机械手表：用于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°；高达±88°的漫反射。

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