浙江库存微孔陶瓷真空吸盘设计

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 微孔陶瓷真空吸盘采用陶瓷材料制成，具有高温耐性和耐腐蚀性能，适用于各种工业应用。浙江库存微孔陶瓷真空吸盘设计

B、成型压力

成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的，压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小，则烧后产品的密度小，产品收缩大，坯体压实程度不够容易出现分层；而压力太大，坯体也容易出现裂纹、分层和脱模困难等现象。合适的成型压力需要通过生产实践来摸索。

C、加压方式

般干压成型时加压方式有两种，一种是单面加压，另一种是双面加压。当单面加压时，则直接受压的一端压力大，出现明显的压力梯度，粉料的流动性越差，则坯体内出现的压力差也就越大，越容易出现分层。双面加压时，坯体两端直接受压，因此两端密度大，中间密度小，其压力梯度的有效传递距离为单面加压的一半，故坯体的密度比单面加压要均匀得多。因此氧化锆陶瓷干压成型时宜采用双面加压的方式。 江苏销售微孔陶瓷真空吸盘厂家报价平面度、平行度好、**致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整。

(4)致孔剂

加入致孔剂是为了提高陶瓷的气孔率、扩大比表面积。致孔剂主要有天然有机细粉、煤粉、石灰石、白云石、烧沸石、珍珠岩、浮石等。一般来讲，增加致孔剂的用量可以提高陶瓷的气孔率，但是会引起陶瓷强度下降，因此必须控制致孔剂的添加比例。以石灰石和白云石作致孔剂时，在煅烧过程分解生成的CaO和MgO具有助熔作用，如果在煅烧温度过高、时间过长，会与原料中的部分物质形成玻璃相，填充部分已形成的气孔，降低陶瓷的气孔率

(5)流变剂

浆料的流动性能保证浆料在浸渍过程中能渗透到有机泡沫中，并均匀地涂敷在泡沫网络的孔壁上。浆料的触变性即要求浆料具有在静止时处于凝固状态，但在外力作用下又恢复流动性的特性。良好的触变性可以保证在浸渍浆料和挤出多余浆料时，在剪切作用下降低粘度，提高浆料的流动性，有助于成型，而在成型结束时，浆料的粘度升高，流动性降低。这就使得附着在孔壁上的浆料容易固化而定型，避免了因为浆料的流动造成坯体严重堵孔而影响制品的均匀性。

组织遗传制备工艺

该工艺是利用植物材质(木材、竹子等)的天然多孔组织，将其在800~1000℃下和惰性气体环境中热解碳化得到与木材多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为模板，1600℃时液态硅蒸发形成的硅蒸汽渗入模板与碳化合形成多孔碳化硅陶瓷。该工艺过程简单，成本低廉，但制品的孔结构主要决定于材质本身的组织，可设计性较差，同时SiC的转化率相对较低。也可将木材在真空中浸渍渗入树脂，之后在1200℃左右热解，冷却后得到一定孔隙率的木材陶瓷。

微孔陶瓷真空吸盘的材料选择和制造工艺使其具有较低的气体渗透性，提高真空吸附效果。

    前驱体法优点是：产物尺寸均一，品质好。缺点是：前驱体的处理比较繁琐，无法进行连续生产。6、模板诱导-水热法模板诱导-水热法是将模板法和水热法结合起来，以硫酸铝为前驱体加入模板剂制备了薄水铝石陶瓷，并经1200℃煅烧制得了α-Al2O3陶瓷。模板剂加入的作用是：（1）降低水热反应的温度；（2）控制前驱体形貌，制备高长径比Al2O3陶瓷。二、氧化铝陶瓷应用1、金属基复合材料氧化铝陶瓷与金属具有良好的界面相容性，被认为是金属基复合材料比较好的增强材料。氧化铝陶瓷增强的金属基复合材料具有**度和耐磨、耐热冲击能力及低的热膨胀系数等优良性能，已在汽车活塞槽部件和旋转气体压缩机叶片中得到应用，有利于改善汽车发动机性能，提高发动机使用效率和燃烧速率，减少废气排放量。 可以生产大型真空固定盘。比较大为2米(代替石盘).潮州新款微孔陶瓷真空吸盘

Fountyl微孔陶瓷正空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围.浙江库存微孔陶瓷真空吸盘设计

2、工艺要精湛

只有现成的设备还不足以***保证氧化锆陶瓷的产品质量，还应该拥有配套的生产工艺，所以氧化锆陶瓷生产工艺是否精湛就是企业选择生产厂家时需要注意的另一个重点。只有工艺好，才能让生产出来的产品在耐磨、耐腐蚀、耐高温、耐酸碱度等方面表现更好，可以达到国际先进水平。

3、原材料质量要可靠

除了好的设备和好的工艺之外要想生产出来的氧化锆陶瓷质量更好，在原材料方面也要注意选择，企业在选择生产厂家时应该了解厂家使用的是什么材料，尽量选择采用现代 浙江库存微孔陶瓷真空吸盘设计

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