武汉陶瓷吸盘规格

时间:2023年03月28日 来源:

陶瓷真空吸盘是一种利用纳米粉体生产出来的均匀的实心或者真空体,通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料,常见的材质有Al2O3或碳化硅,常应用于半导体电子器件领域。在应用场合中,它能通过真空吸力将半导体片、玻璃基板材料等工作物固定住。相对于传统吸盘对于工件单一化规格吸附的特性来说,陶瓷真空吸盘的区域性吸附功能,更有助于提升产线流畅度及其效能,还可以避免传统吸盘对工件(尤其是薄膜材料)的刮伤和吸痕。除了用于吸附工件外,陶瓷真空吸盘还可以在传输型气浮模组中使用,就算是大片的玻璃基板等工件,也能让它们在输送与移载过程中不直接与平台接触到,避免污染物附着、应力、静电及损伤玻璃基板的情形发生。而且多孔性材质可大幅降低气体流量,还能达到气垫层气压均匀,能保持一定漂浮高度的效果。陶瓷吸盘主要材料包括95-99.9%氧化铝,氧化锆,以及氮化硅,碳化硅,氮化钛陶瓷。武汉陶瓷吸盘规格

陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附, 同时也可作气浮平台,普遍应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用只限用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化移载、物件吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其它加工程序。武汉真空陶瓷吸盘要想加工一块质量好的陶瓷吸盘需要一名熟练的操机师傅。

良好的陶瓷真空吸盘需要具备以下几点:①洁净度:避免硅片在加工的过程中被Na+、Al+等杂质污染;②通透性强:均匀透气和透水,保证了硅片的均匀受力和牢固吸附,在磨削过程中不滑动;③结构致密均匀:不易吸附硅粉磨屑,吸盘易于清洗;④强度高:在磨削时无形变,保证硅片在磨削时各点受力均匀,不易产生崩边、碎片等现象;⑤易于修整:修整时不会出现破裂、碎块、脱粒等现象;⑥绝缘性高:绝缘性材质,消除静电。陶瓷吸盘的耐用性也是很重要的考虑因素。

陶瓷吸盘用于半导体及精制造设备,产品要求极高,不能轻易确定工艺,确定了的工艺不能轻易更改。产品出质量问题,要找到问题的根源、主要因素或者主要表现;在没有搞清楚问题前,轻易更改工艺其实掩盖了真正原因和问题。陶瓷吸盘的生产过程,要有量化和追溯的强烈意识的控制:1)品质取决于众多的因素,不要忽略任何细节;2)任何细节尽可能用数据去控制并记录;3)过程细节不进行控制和追溯会误导纠正、预防措施的制定。对陶瓷吸盘的品质问题,解决问题一定要有耐心,包括尺寸精度和气压值检测等。陶瓷吸盘比较早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的。

微孔陶瓷吸盘在防腐蚀,抗氧化,抗冷热冲击这几方面拥有的优势:微孔陶瓷吸盘的热容量小,它本身不蓄热,可以直接散热,微孔陶瓷吸盘不会像金属散热片一样形成“热 阶梯”,影响它的散热性能。微孔陶瓷吸盘比较大的特点,它本身就是微孔洞的结构,这种工件增加了与空气接触的面积,可以大幅度增强它的散热性效果,同比条件下,微孔陶瓷材料的散热效果比超铜、铝,密闭环境下,主动辐射散热能力8.8倍与金属材料,散热优势更加明显。微孔陶瓷吸盘本身具备有绝缘、耐高温、抗氧化、耐酸碱、耐冷热冲击、热膨胀系数低,从而还保证了在高低温环境或者其他恶劣环境下陶瓷散热片的稳定性。气体吸附法是表征多孔陶瓷吸盘孔隙结构特性比较重要的方法之一。武汉真空陶瓷吸盘

陶瓷吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台。武汉陶瓷吸盘规格

陶瓷真空吸盘的吸附性能随孔径的变化而变化。对于超微孔陶瓷和超微孔陶瓷,孔径是分子直径的几倍。在吸附过程中,孔壁围绕着被吸附的分子,孔中的范德华力非常强;对于中孔和大孔,孔径比吸附分子的直径大10倍以上,并且发生典型的毛细管冷凝。根据孔隙的形状,有时会出现吸附滞后等一系列现象。为了正确分析材料孔隙体积和孔径,需要对材料孔隙结构有清楚的了解,选择正确的预处理方法(温度、大气、真空等)和适当的分析模型,然后获得准确科学的实验结果。由于其特殊的结构,对多孔陶瓷材料具有高比表面积、高孔隙率、高吸附性等许多优异的物理化学性能,普遍应用于半导体、化工、环保、功能材料等领域。气体吸附是表征多孔材料孔隙结构的重要方法之一。武汉陶瓷吸盘规格

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