2025年3月10日-12日华东国际先进陶瓷技术展览会

时间:2024年12月02日 来源:

刻蚀技术是SiC器件研制的关键,刻蚀精度、损伤和表面残留物对器件性能至关重要。目前,SiC刻蚀多采用干法刻蚀,其中电感耦合等离子体(ICP)刻蚀因其低压高密度的特点,具有刻蚀速率高、器件损伤小、操作简单等優点,而广泛应用。此外,刻蚀中的掩膜材料、蚀刻选择、混合气体、侧壁控zhi、蚀刻速率和侧壁粗糙度等需针对SiC材料特性开发。刻蚀环节主要挑战包括实现更小尺寸器件结构、提高深宽比和形貌圆滑度,以及从浅沟槽向深沟槽的转变等。主流的SiCICP刻蚀设备厂商包括德国Plasma-Therm及Sentech、瑞士TEL、美国AMAT、英国牛津仪器、日本Samco及爱发科,及我国北方华创、中國电科48所、中微半导体、中科院微电子所、珠海恒格微电子、稷以科技等。北方华创在SiC器件领域具备完整的刻蚀解决方案,其SiC器件刻蚀机出货量的市占率较高。“第十七届中國‌國際先進陶瓷展览会”将于2025年3月10-12日上海世博展览馆盛大开幕!展会展览面积将超过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会打通供需堵点,整合全产业链资源,集中展示涵盖原材料、设备、仪器、制品等产品、服务和整体解决方案。诚邀您莅临参观!“中國‌國際先進陶瓷展览会”创新应用和解决方案:2025年3月10-12日上海世博展览馆。诚邀您莅临参观!2025年3月10日-12日华东国际先进陶瓷技术展览会

2025年3月10日-12日华东国际先进陶瓷技术展览会,先进陶瓷

“第十七届中國‌國際先進陶瓷展览会”将于2025年3月10-12日上海世博展览馆盛大开幕。碳化硅作为第三代半导体的代表性材料之一,展现了突出的性能优势,具有极高的产业价值,被当下业内称为“黄金投资赛道”。我国“十四五”规划已将碳化硅半导体纳入重点支持领域,是國家战略性需求的重要行业。我们通过对碳化硅产业链的基本情况及碳化硅衬底、外延、功率器件环节的价值分析,揭示碳化硅产业链的发展趋势以及面临的机遇与挑战。五展联动孕育无限发展商机IACECHINA2025将与第17届中國‌國際粉末冶金及硬质合金展览会(PMCHINA)、2025上海國際线圈、变压器、电感、电机与磁性材料展览会(MMICCHINA)、2025上海國際增材制造应用技术展览会(AMCHINA)和2025上海國際粉体加工与处理展览会(POWDEXCHINA)同期同地举办。五展联动,串联相关产业链,吸引更多的观众群体,形成既汇聚更多参展企业同台竞技,又满足观众和买家多样化需求的“一站式”商贸交流平台。本届展会(2025年)展览面积将超过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。诚邀您莅临参观!2025年3月10-12日上海市国际先进陶瓷博览会靠技术腾飞,借展会布局,云集中外品牌的“中國‌國際先進陶瓷展览会:2025年3月10-12日我们上海见!

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“第十七届中國‌國際先進陶瓷展览会”将于2025年3月10-12日上海世博展览馆盛大开幕。诚邀您莅临参观!氧化锆陶瓷因具有耐高温、耐腐蚀、耐磨损等优良的性能,应用于各个领域中。常压下纯氧化锆有三种晶型,由于晶型转变产生体积变化,造成开裂。加入适量稳定剂,使氧化锆从高温冷却至室温过程中尽可能多的保留四方相,控制并提高对增韧有贡献的四方到单斜相的有效转变。氧化钇稳定氧化锆由于其综合性能好,成为应用较广的氧化锆材料。有研究表明,Y2O3含量在2.5mol%时抗弯强度;在2mol%时断裂韧性da。本文主要以Y2O3含量在2~2.5mol%的氧化钇稳定氧化锆为原料,制备出综合性能较高的氧化锆陶瓷,并探讨成型和烧结工艺对氧化锆陶瓷性能的影响,从而为生产提供理论依据,进而生产出高性能的氧化锆结构陶瓷。

碳化硅外延需经过光刻、沉积、离子注入等前段工艺形成碳化硅晶圆,再经过减薄、封装等后段工艺分别形成碳化硅芯片、功率器件及功率模块。在制程上,SiC芯片与硅基器件的工艺类似,但SiC制备需要特殊设备,如高温离子注入机和高温热处理设备等。刻蚀、减薄等环节也需特殊设备。“第十七届中國‌國際先進陶瓷展览会”将于2025年3月10-12日上海世博展览馆盛大开幕!五展联动;第17届中國‌國際粉末冶金及硬质合金展览会(PM CHINA)、2025上海國際线圈、变压器、电感、电机与磁性材料展览会(MMIC CHINA)、2025上海國際增材制造应用技术展览会(AM CHINA)和2025上海國際粉体加工与处理展览会(POWDEX CHINA)同期同地举办。五展联动,串联相关产业链,吸引更多的观众群体,形成既汇聚更多参展企业同台竞技,又满足观众和买家多样化需求的“一站式”商贸交流平台。展会展览面积将超过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会打通供需堵点,整合全产业链资源,集中展示涵盖原材料、设备、仪器、制品等产品、服务和整体解决方案。 诚邀您莅临参观!先進陶瓷行业精英齐聚上海、交流合作、共谋发展,中國‌國際先進陶瓷展,3月10日我们共同见证盛会开幕!

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碳化硅单晶材料按电学性能分导电型和半绝缘型,而导电型对应同质外延,半绝缘型对应异质外延。同质外延制成SBD(肖特基势垒二极管)、MOSFET(缩写为MOS,金属氧化物半导体场效应晶体管)等功率器件,适用于电子电力领域如新能源汽车、轨道交通、智能电网、光伏发电等;在导电型SiC衬底上生长SiC外延层可制得SiC外延片,用于各类功率器件。异质外延制成HEMT(高电子迁徙率晶体管)等微波射频器件,适用于高频、高温环境如5G通讯、雷达、國‌防jun工等领域;在半绝缘型SiC衬底上生长GaN外延层可制得SiC基GaN外延片用于GaN射频器件。“第十七届中國‌國際先進陶瓷展览会”将于2025年3月10-12日上海世博展览馆盛大开幕!展会展览面积将超过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会打通供需堵点,整合全产业链资源,集中展示涵盖原材料、设备、仪器、制品等产品、服务和整体解决方案。 诚邀您莅临参观!中國‌國際先進陶瓷展览会将于2025年3月10-12日在上海隆重举办,行业人士齐聚一堂,共襄盛会!2025年3月10日至12日上海市国际先进陶瓷技术发展论坛

“2025中國‌國際先進陶瓷展”为行业精英提供学术研究与应用实践的融合平台,2025年3月10日上海见!2025年3月10日-12日华东国际先进陶瓷技术展览会

陶瓷常指陶器和瓷器的总称,指以粘土为主要原料以及各种天然矿物经过粉碎混炼、成型和煅烧制得的材料以及各种制品,指所有以粘土等无机非金属矿物为原料的人工工业产品。随着现代制造方法的发展,陶瓷材料逐渐成为指用天然或合成化合物经过成形和高温烧结制成的一类无机非金属材料。目前我们把陶瓷学定义为“制造和应用由无机非金属材料作为基本组分组成的固体制品的技艺和科学”。这一定义不仅包括陶器、瓷器、耐火材料、结构黏土制品、磨料、搪瓷、水泥和玻璃等材料,而且还包括非金属磁性材料、铁电体、人工晶体、玻璃陶瓷以及几年前还不存在甚至至今尚未出现的其他各种各样的制品。“第十七届中國‌國際先進陶瓷展览会”将于2025年3月10-12日上海世博展览馆盛大开幕。同期展会;第17届中國‌國際粉末冶金及硬质合金展览会(PM CHINA)、2025上海國際线圈、变压器、电感、电机与磁性材料展览会(MMIC CHINA)、2025上海國際增材制造应用技术展览会(AM CHINA)和2025上海國際粉体加工与处理展览会(POWDEX CHINA)同期同地举办。五展联动,串联相关产业链,吸引更的观众群体,形成既汇聚更多参展企业同台竞技,又满足观众和买家多样化需求的“一站式”商贸交流平台。2025年3月10日-12日华东国际先进陶瓷技术展览会

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