高纯特气管道安装注意事项

硅烷（SiH4）的利用可以实现高纯度、超精细(可达原子尺寸)的控制和较灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料制成复杂精细的结构, 满足各种需要，这也正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。硅烷既然这么有用，那肯定不能因为它是危险性气体就不用啊，但同样安全第一，那该怎么办呢？特气系统和特气设备!他们的出现便是为了解决这种问题而专门设计出来的。以上，便是硅烷特气系统中硅烷（SiH4）的作用、特气柜的设计和气体管道要求，因为硅烷的危险特性，要选好特气设备（特气柜）和做好气体管道安装，这样无论你是否使用，你都是可以放心和安全的。感谢您的阅读！管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。高纯特气管道安装注意事项

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。苏州医院特气管道安装公司现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录。

工艺原理 采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工，顺管内介质流向高纯氮气（99.9999%）进行吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专门使用弯管装置进行弯管加工，双层管道内外充纯氩（99.9999%）保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接，结合氦气检漏的工艺原理，保证内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。3 加工安装操作要点， 洁净区域管制 现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。

特气管道的组成：1. 特气管道由钢管或无缝钢管（内衬聚乙烯）制成，其规格为DN50～150mm（公称压力2.5～3.5MPa），壁厚1.5～3mm；2. 阀门：用于调节流量的大小和切断介质流动；3. 防腐层：防腐材料采用环氧煤焦油沥青涂料涂敷于钢管外壁上。特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。特气管道安装：1. 安装前准备工作：（1）检查管材是否符合设计要求；（2）检查配件是否完好；（3）检查焊接设备是否正常运转；（4）检查焊机电流电压是否符合要求。特气管道安装对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。

供气系统的选择：简单供气系统，简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙。江苏大楼特气管道安装厂商

在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。高纯特气管道安装注意事项

随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。现在市面上，特气管道供应商非常的多，但是，除了少部分像奥飞克、沃飞等提供交钥匙式的特气管道安装服务的公司，大多数的厂商只是提供产品，没有管道安装这一方面的服务。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错，下面小编会以半导体生产制程用电子特种气体供气系统为例子为大家具体的来介绍：高纯特气管道安装注意事项