杭州厂房特气管道安装连接图

管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定：1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5µm)；3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。气瓶柜与气瓶架的安装：1气瓶柜和气瓶架应按设计要求定位。2气瓶柜气瓶架就位找平、找正后，应固定牢固。3气瓶柜和气瓶架的垂直度偏差不应大于1.5%成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。4 气瓶柜的安装应确保柜门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严。自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。杭州厂房特气管道安装连接图

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。杭州隐藏式特气管道安装价格特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机。

GP特种气体管道的“施工”，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。现场基本的施工程序为：01施工图纸会审 02施工组织编写 03预制间的搭设 04施工机具的准备 05施工人员的培训 06预制图纸的编写07管道的预制 08管道的现场安装 09系统检测 10系统验收。特气系统检测：a设备安装完成后，按照系统要求的基本功能逐一测试。b系统运行正常，联机测试通过。针对以上情况及实际工作压力，参考《国家工业管道安装及验收规范》(GB50235-2010)、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》(GB50236-2010)等部分有关规定，对本项目气体管道压力试验及净化制定具体方案。

焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认这里的焊接作业是否存在焊接隐患。每次电源变更的时候，都必须重新作试样。焊接试样要附上焊接参数。每天的焊接试样要妥善保存。（焊缝质量的检查主要有焊缝的宽笮度、焊缝的内外均匀度、焊缝的凹凸度、是否氧化、其他不允许的缺陷）架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度。

以下是特气管道安装的一般步骤：1. 压力测试：在安装完成后，需要对管道进行压力测试，以确保管道的密封性和牢固性。测试压力要高于正常使用压力，以确保管道在正常使用时不会出现泄漏。2. 气体纯度测试：在安装完成后，需要做气体纯度测试，以确保气体的纯度符合实验要求。可以使用气体纯度分析仪等设备进行测试。3. 标识和标签：特气管道需要进行明确的标识和标签，以确保管道的使用和维护的安全性和可靠性。4. 维护和保养：特气管道需要定期进行维护和保养，以确保管道的密封性和可靠性，以及及时发现和处理管道故障。准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。江苏室外特气管道安装流程

按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。杭州厂房特气管道安装连接图

特种气体系统工程施工应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB50235、《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB 50184、《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》GB 50236和《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB50683 的有关规定。特种气体系统使用的不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气保护。10.1.3安装和试验检测用计量器具应经检验合格并在有效期内使用。10.1.4特种气体系统工程施工前应编制专项施工方案，并应经业主审批后实施。10.1.5主要设备材料进场应提供下列文件：1 产品合格证、质量保证书、性能测试报告；2 产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；3 产品规格、型号、数量、设备附件及专门使用工具。杭州厂房特气管道安装连接图