上海隐藏式气体管道设计流程

气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。上海隐藏式气体管道设计流程

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。南京卫生院气体管道设计服务商实验室气体管道设计要求严格，需要考虑多个因素，确保供应的气体能够满足实验室内不同设备和实验的需求。

气体管道敷设要求：1、输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。2、氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。3、氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。4、室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。5、气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。 

实验室气体采用集中供气方式，由实验室外专门使用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管（BA级）路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。

实验室气体管道系统采用汇流排集中供气设备，进行双瓶(多瓶)带手动、半自动、全自动切换功能，带有低压报警装置，实时监控气体压力，浓度监测报警和排风，保证客户正常用气需求和生命财产安全。而且通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本。此外，我们应用技术根据实验室环境，配合施工方协作设计方案。管路管线交错供气错综复杂，为避免错漏，公司设计人员将每一路气体的交叉点、控制阀都在图纸上注明，通过实地勘察，进行全方面、系统地调查分析，为气路设计提供细致、可靠数据。同时在气站建设方面，使用气瓶间管理方式，提高气站使用的安全性，气源控制采用不锈钢控制面板，输送过程管路连接采用不锈钢系列阀门、接头等产品。所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。南京大楼气体管道设计厂家

压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。上海隐藏式气体管道设计流程

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。上海隐藏式气体管道设计流程