南通氩气气体管道设计

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器。南通氩气气体管道设计

气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全问题都有要求。气体管道设计规范：1、穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。2、氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。3、氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。杭州工业气体管道设计行价高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。

气路的布线：1.气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS316LBA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<0.4umBA级管道。2.4N氮气主管线采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力下的流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。3.5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。实验室气体管道设计要求严格，需要考虑多个因素，确保供应的气体能够满足实验室内不同设备和实验的需求。以下是实验室气体管道设计的一些基本要求。

外购气体钢瓶供气，外购气体钢瓶集中存放在工厂的气瓶间(库)中，气瓶中高压气体经气体总线，减压阀组汇集，减压至一定压力经气体纯化装置纯化后供气。为确保连续供气，气体钢瓶一般分为两组，交替放气，根据产品工艺要求，选择满足供气品质的气体纯化装置或在用气点处设置末端气体纯化装置。1－钢瓶及总线2－减压阀组；3－调压装置；4－气体纯化装置； 5－末 气 体 纯 化 器；6－气 体 过 滤 器；7－用 气 点，其他：实验室气体管路系统规范，实验室集中供气工程要求。每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。

气体管道设计安全技术：1、气体管道设计的安全技术应符合下列规定：2、每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。3、各种气体管道应设置明显标志。4、使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。5、气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对曰用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。6、氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全问题都有要求。实验室气体管道可靠性，管道连接应采用牢固的固定方式，避免因振动或使用不当导致的泄漏。南通氩气气体管道设计

管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。南通氩气气体管道设计

液氧供氧由液氧罐、汽化器、减压装置、管道及报警装置等组成。大于500L的液氧罐应放在室外，室外液氧罐与办公室、病房、公共场所及繁华道路的间隔应大于7.5m。液氧罐四周5m范围内不应有可燃物和设置沥青路面。中心制氧机供氧系统由PSA制氧机、高效能空气压缩机、冷却干燥过滤系统及细菌过滤器、氧气浓度显示仪等组成。PSA制氧机采用PSA（Pressure Swing Adsorption）先进技术，利用分子筛压力转换吸附方式，清理空气中的氮气和其它物质，以高纯度（93%±3）的氧气供医疗使用，气体储存量的计算是由日用气量及气体容器更换的时间（或气体充填周期）来决定的。气体容器更换时间与医院的性质和治理方法有关，一般为3~7天。南通氩气气体管道设计