南京高纯气体管道设计解决方案

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。南京高纯气体管道设计解决方案

主要工作参数的确定：1 输送物料量，作为气力输送计算依据的物料输送量 ，应该是各输料管在单位时间内通过的较大输送量，即：2 混合比(输送浓度)在气力输送计算中，一般采用的混合比或称输送浓度，以质量浓度 表示，它是指单位时间内通过输料管某一截面物料的质量与输送气体质量的比值，以下公式均以空气表示输送气体，在相同的输送物料量下，提高混合比，可减少空气量，从而节约动力消耗和管材，在相同的空气量时，提高混合比，可以增加物料的输送能力。但混合比过大会带来输送状态的不均匀，从而降低设备的可靠性。在表5.2.2中，推荐了各种输送方式的合适混合比。气体管道设计厂商可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。

易燃易爆气体管道设计要求：①可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。②为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入大气的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆裂事故，必须在排气管道上设置阻火器。③各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体质量。

负压吸引系统技术要求，吸引系统负压在大气环境下不高于0.02MPa（150mmHg），不低于0.07MPa（525mmHg），并能在该范围内任意调节。医院各病区及各手术室应装有精度不低于1.5级的真空表。传染病房与一般病房若共用一套吸引系统时，则传染病房系统应设置真空罐及过滤器与之隔离。中心吸引站应有报警装置，当负压值高于0.019MPa（140mmHg）或低于0.073 MPa（550mmHg）时，在55db(A)噪音环境下，在1.5m范围内应听到声报警和看到红色的光报警。吸引系统排气口所排出的空气，每立方米细菌数目不得超过500个。中心吸引站室内噪音不超过80db(A)，室外不超过60 db(A)。吸引系统应有可靠的接地装置，接地电阻应小于10Ω。采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。

中心供氧系统：1）中压输送中心供氧站：0.8~1.0 MPa氧气经过二级减压后，以0.3~0.5MPa（可调）送至各医疗用氧气终端。根据病区的要求，可调节末端压力值，同时中压输送气体，相对管经较细。2）低压输送中心供氧站：0.5~0.6 MPa氧气经过气体阀箱（包括气体压力表、气体压力接触器、气体压力传感器及报警控制系统）0.2~0.4 MPa供至各医疗用氧气终端。中心供氧系统技术要求，为保证系统正常供氧，应有供氧欠压报警装置。当供氧系统压力低于报警压力时，应有声、光同时报警；声报警要求在55db(A)噪声环境下，在距1.5m范围内可以听到；氧气管道须有可靠接地，接地电阻小于100Ω。凡是用氧气的管道、管件、仪表、阀门和其他一切接触氧气的附件都必须事先进行脱脂，脱脂后管道用不含油气体吹干。气体管道宜采用无缝钢管。江苏高纯气体管道设计精选厂家

各种气体管道也应按标准单元组合设计。南京高纯气体管道设计解决方案

管道设计标准：一、管道直径的确定，管道直径的确定取决于气体的流量和运输的距离。如果管道直径过小，会导致气体流量不足，影响气体的输送效率;如果管道直径过大，不只会浪费材料，还会增加建设成本。二、管道的布局，在气体管道的布局设计中，需要考虑管道连接的数量和位置、管道的支撑方式等因素。合理的管道布局可以保证气体输送的平稳和安全。三五、管道的安装，在气体管道的安装过程中，需要特别注意管道的密封和固定。如果安装不当，会导致气体泄漏和管道破裂等安全问题。以上就是芯片净化车间建设中工业气体管道设计的必须知道的标准。只有在严格遵守这些标准的前提下，才能保证净化车间的高效运行和安全生产。南京高纯气体管道设计解决方案