苏州混泥土微振基台生产
微震基台是一款精密仪器,专门为集成电路制造设备、半导体晶圆面板厂设备、新能源光伏制造设备、光电设备、通讯设备等行业提供专业定制服务。它采用先进的微震技术,能够实时监测设备的运行状态,及时发现问题并进行处理,从而保证设备的稳定运行和生产效率的提高。微震基台具有以下特点:1.高精度:微震基台采用高精度传感器和先进的数据处理技术,能够实现高精度的数据采集和分析,保证数据的准确性和可靠性。2.实时监测:微震基台能够实时监测设备的运行状态,及时发现问题并进行处理,避免设备故障对生产造成影响。3.智能分析:微震基台采用智能分析算法,能够对设备运行数据进行深度分析,发现潜在问题并提出解决方案,从而提高设备的运行效率和生产效率。4.定制服务:微震基台提供专业定制服务,根据客户的需求进行定制,满足不同行业的需求。微震基台是一款精密仪器,具有广泛的应用领域和市场前景。我们将继续致力于技术创新和产品优化,为客户提供更加优的产品和服务。我们的防微振基台具有很好的环保性能,不会对周围环境造成污染。苏州混泥土微振基台生产
微振基台加工高精度数控加工技术:利用高精度的数控机床和数控编程技术,实现微振基台各个部件的精确加工。这包括控制刀具的运动轨迹、切削速度和进给量等,以确保加工精度和表面质量。微振基台加工精密测量与检测技术:通过高精度的测量仪器和检测方法,对微振基台的尺寸、形状、位置等进行精确测量和检测。这有助于确保加工过程中的精度控制,以及产品的合格性。微振基台材料处理与改性技术:针对微振基台所需的材料特性,进行材料选择、处理和改性。这可能包括热处理、表面处理、合金化等技术,以提高材料的硬度、耐磨性、抗腐蚀性等性能。江苏芯片厂方微振基台生产防微振基台可以广泛应用于半导体、光电、医疗等行业的洁净室工艺设备。
1、EQID:2AFC111#栋ARRAY洁净室CVD设备2、防微振等级:承重台3、尺寸:长9096mm*宽9057mm*4004、防微振平台表面导静电环氧自流平,电阻值*104-6Ω5、平整度要求:平整度≤±3mm,whole<±5mm,foot::*≤±2mm,脚位间≤±3mm;6、机台采用标号C30及以上混凝土(商品混凝土)7、开孔需求:有8、满足工艺设备搬入时间:、平台施做前承包商需提前勘察华夫板平整度,若华夫板平整度较差由本承包商提前处理,以确保平**成面与四周高架地板齐平;10、包含不限于高架地板(含基座)拆除并运送至指定位置、华夫板破损环氧修补、防微震平台与高架地板缝隙收边、将防微振平台表面预留静电接地铜箔与洁净室防静电网对接、防微振平台表面平整度测试、防微振平台导静电环氧电阻值测试、防微振平台防震等级测试等。包含如下事项:1、产尘作业搭设洁净棚,配备洁净室**吸尘器;2、施工现场6S维护;3、高架地板拆除后拆除区域铺设防坠网,防微振平台安装前拆除防坠网;4、防微振平台落坑处高架地板脚架增加斜撑补强,材料由甲方提供,承包商负责运输、安装及拆除;5、其他洁净室施工防护措施-洁净施工棚搭建等。
所述基座本体1的底部固定安装有四个移动车轮2,基座本体1顶部的右侧固定连接有推杆3;基座本体1顶部的前后两侧均固定连接有固定箱4,固定箱4的内部固定连接有两个滑杆5,固定箱4内壁的后侧固定连接有套筒6,套筒6远离固定箱4内壁后侧的一端套接有螺纹杆7;固定箱4的正面镶嵌有轴承8,轴承8的内圈与螺纹杆7的表面固定套接,螺纹杆7表面上从套筒6至轴承8之间的部分为螺纹面,且螺纹杆7表面上的其余部分均为光滑面;螺纹杆7远离套筒6的一端穿设轴承8并固定连接有调节旋钮9。滑杆5和螺纹杆7的表面均套接有滑板10,滑板10套接在滑杆5的表面,且滑板10与螺纹杆7的表面螺纹连接,滑板10背面的顶部和底部均固定连接有连接杆11;固定箱4后侧表面的顶部和底部均镶嵌有套管12,连接杆11远离滑板10的一端穿设套管12并固定连接有夹板13,两个夹板13之间夹持有排水泵14,夹板13的内壁粘接有弧形橡胶圈17,且弧形橡胶圈17位于夹板13和排水泵14之间,通过设置固定箱4、滑杆5、套筒6、螺纹杆7、轴承8、调节旋钮9、滑板10、连接杆11、套管12、夹板13、排水泵14和弧形橡胶圈17,通过转动调节旋钮9带动螺纹杆7一起转动;由于滑板10与滑杆5的表面套接,并且滑板10与螺纹杆7的表面螺纹连接。 防微振平台的应用范围非常广,可以用于各种建筑物、设备和机械的减震.
三级控制采用“高刚性钢平台+控制单元”的主动伺服系统设计方案,设计内容为“主动伺服装置+高架地板”。气浮系统尺寸如图5所示。主动控制装置的控制单元上下两端均要进行固定,要按尺寸在下方T型台上增设预埋件,并在高刚性平台板对应的位置打孔。因三级隔振系统较二级隔振系统尺寸小,为保障房间内使用空间及人员安全,要在周边架设高架地板,地板底部通过架设的钢梁进行支撑,地板表面与主动隔振系统齐平。考虑周边振动环境有可能恶化,选用高性能主动控制单元,保证有足够的冗余性设计防微振基台采用了先进的减震技术,能够有效地减少设备振动对周围环境的影响。苏州混泥土微振基台生产
赫政减振基台具有多种规格和型号,能够满足不同客户的需求,提供个性化的解决方案。苏州混泥土微振基台生产
防微振基座平台应满足厌振机器设备清单里各厌振机器设备的防微振要求。即工艺设备隔振基台在投入使用后(动力、工艺等设备运行和人员走动等振源以及基台上设备运行产生的扰动力干扰下)垂直和水平三个方向要求达到的防微振级别均采用国际通用VC曲线振动容许标准,防微振基座平台应具有承受设备自重及其运行时的承载能力。防微振基座平台的台板强度fc≥16N/mm2;台板受荷后挠度:δ≤50μm;基台台板竖向基频:f≥20Hz。防微振基座平台其它要求:①基台需自带支撑系统;②基台应有水平和高度调节功能,调整范围≥±10mm。③基台本身应满足厂房的洁净和防静电要求苏州混泥土微振基台生产