低温真空泵常用知识

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/ 扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。蠕动泵的工作原理是通过交替压缩和释放软管来实现液体输送，因此它对液体的搅动非常小。低温真空泵常用知识

微型隔膜泵与微型蠕动泵的区别；一、工作原理微型隔膜泵的工作原理是通过隔膜的往复运动来改变泵腔的容积，从而实现吸入和排出液体的目的。这种泵通常具有简单的结构和较高的可靠性，因此在许多场合下都被优先考虑。相比之下，微型蠕动泵的工作原理则是通过滚轮或滑块对软管进行交替压缩和释放，使软管内的液体产生定向流动。这种泵的特点是具有较好的密封性和自吸能力，但在结构上相对复杂一些。二、性能特点微型隔膜泵的主要优点在于其结构简单、体积小、重量轻，以及较高的流量和压力范围。此外，它还具有较好的自吸能力和干运转能力，因此在一些需要高可靠性和高适应性的场合下表现出色。微型蠕动泵的优点则在于其良好的密封性和低剪切力。由于蠕动泵的工作原理是通过交替压缩和释放软管来实现液体输送，因此它对液体的搅动非常小，特别适合于输送一些对剪切力敏感的液体。此外，蠕动泵还具有较好的自吸能力和可逆性，可以通过反转滚轮或滑块的方向来实现液体的反向流动。低温真空泵发展根据蠕动泵的设计和制造，大部分蠕动泵目前在一定程度上可以干运转。

高精度分配蠕动泵、分配型蠕动泵的选型要点1.流量要求：需要根据具体的流量要求来选择合适的分配型蠕动泵。2.压力要求：需要根据具体的压力要求来选择合适的分配型蠕动泵。3.输送介质：需要根据具体的输送介质来选择合适的软管或者管道材料。4.粘度要求：需要根据具体的粘度要求来选择合适的软管或者管道材料。一体化蠕动泵可以广泛应用于医学设备检测、水质监测等液体传输分析仪器设备。一体化蠕动泵集成了驱动于电机尾部，电路和软件精细掌握，可配套硬管转软管接头，结构紧凑、易于安装、操作便捷，精度高。

有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难，微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵，微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨，这对加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵，功能还只限于液体抽运，而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵，虽然已有针对小型化的新设计提出[11]，但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差，目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12]，全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。​柔性叶轮泵是一种泵设计，由圆形橡胶叶轮和安装在外壳内的多个柔性橡胶叶片组成。

蠕动泵，英文翻译为peristaltic pump。蠕动泵行业中的称呼有：蠕动泵、计量泵、恒流泵、软管泵、软管蠕动泵。从输送的精度方面说属于计量泵、恒流泵。从产品构造来说属于软管泵；从产品的原理来说属于蠕动泵。 蠕动泵的工作原理是通过挤压软管实现液体的输送，因此这种泵输送的液体在泵内只经过软管，没有死角，因此极易清洗，不会产生残留，非常适合于需要洁净输送的用途。再因为蠕动泵每转一圈都会输出固定量的流体，因此蠕动泵也非常精细，可以通过调速和计时的方式实现精确的计量输送。蠕动状态的软管就像人的肠道一下推动管内的流体，因此不会对流体产生挤压和破坏，不像离心泵的高速叶轮会对流体中的固体产生叶轮旋切。特别适合输送类似橙子果粒一样的物料。流量型蠕动泵：除具备基本型功能之外，还增加了流量显示、通讯、定时定量等功能。湖南真空泵变速

真空泵可以将气体从反应室和加工设备中抽出，使其内部形成高真空状态，从而保证半导体制造的质量和稳定性。低温真空泵常用知识

提高蠕动泵工作效率的小技巧：蠕动泵管软管接头的选择蠕动泵所产生的吸力是由蠕动泵头的管轮总成挤压软管后软管回弹所产生的。因此，如果所需要传输的流体距离蠕动泵头过长或者软管接头扣边变小会使得吸入端的阻力变大，阻力变大是使蠕动泵软管回弹受然后造成实际传输流量损失严重。同理，如果输出端的软管过长或者软管接头口径变小会造成软管内输出阻力变大，造成输出流量变小。因此在选择蠕动泵软管接头的时候软管接头不要小于泵头装卡软管的口径。同时蠕动泵软管入口处也要尽可能短。5、关于流量在蠕动泵选型时理论流量应该大于实际的流量。因为蠕动泵泵管质地较软在其工作过程中产生的排挤压力和负压相对较小，所传输的流体如有粘度亦或者蠕动泵管长度较长，期间就会损失一定的流量，因此在选购蠕动泵的时候应该选择理论流量高于实际流量。低温真空泵常用知识