变压气冷罗茨泵选型
首先,介绍一下启动方法。除多步骤、湿式及空冷式罗茨真空泵外,现有的罗茨真空泵单元需要与前级泵结合使用,以防止压力差过高而损坏设备。因此在起动前:1)启动前级泵;2)打开前级泵的前抽管阀门和罗茨真空泵单元进入排气阀门;在系统内的压力达到罗奇真空泵单元的入口压力(由制造商的罗茨真空泵单元在入口压力上有差异)之后,关闭预过道的阀门,重新启动罗奇真空泵单元。如果没有这种前抽式管道,就可以通过前一级的泵抽出罗茨真空泵的可允许入口压力,然后启动罗奇真空泵。当然,目前多数情况下,已经通过设置实现了自动电气控制,因此这一部分的启动不需要改动。罗茨真空泵在运行时要小心,必须严格按照规格使用。一般来说,罗茨真空泵的入口压力为1330pa以下,出色的赞扬气效率(比较高的赞扬效率段在100~1pa的范围应该),拥有应用中的比较高入口压力不超过允许的比较高入口压力,另外,高入口压力下的驾驶不太适当。另外,正常运行情况下,普通的泵的比较高温升超过40℃,比较高温度超过80℃,具体的厂商产品的具体特点应根据规定。驾驶过程中没有不规则的异常振动或噪音。如果在驾驶过程中发现电气过载、温度上升、声音异常、振动过大等情况,立即停止检查原因,排除故障。沃德气体生产的产品受到用户的一致称赞。变压气冷罗茨泵选型
水环罗茨真空机组的温升是指在极限真空或额定真空(指直排大气水环罗茨真空机组)稳定工作的条件下,在整个泵外表各处所测得的比较高温度与室温之差。对测量温升用的温度计的种类不限定,但应具有±1℃的测量精度。在标注温升时,应同时注明当时的室温,泵的冷却条件,包括冷却方法,如系水冷应注明进出水的温度。水环罗茨真空机组出口压力是指在水环罗茨真空机组稳定运转的条件下,对应于某种进口压力值,在排气口附近测褂的压力。出口压力的测试,可以与测定抽气速率同时进行,从接近极限真空的适当值开始,直至泵的允许进口压力左右为止。对应于每个进口压力值测定其出口压力。水环罗茨真空机组的结构紧凑,占地面积小。压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。相邻两个叶片之间的空间形成气缸,相对旋转移动,水就像活塞一样,沿着叶片上下移动,这种运行方式如同往复真空泵一样。叶轮旋转时,气体通过壳体的吸入口处进入壳体,再从孔板的吸气口进入叶轮,并在移动过程中经膨胀和压缩后,从孔板排气口向壳体的排出口排出。水环罗茨真空机组出口压力的测量位置在部颁标准中有具体规定。广东三级气冷罗茨泵机组沃德气体提供周到的解决方案,满足客户不同的服务需要。
简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到的简化。在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速,所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲,长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵,分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空**压力范围的罗茨泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。
气冷罗茨泵变压吸附(PSA)技术是近年来发展起来的一项新型气体分离与净化技术。变压吸附(PSA)气体分离装置中的吸附主要为物理吸附。气冷罗茨泵变压吸附气体分离工艺过程的实现主要是依靠吸附剂在吸附过程中所具有的两个基本性质:一是对不同组分的吸附能力不同,而是吸附质在吸附剂上的吸附容量随吸附质的分压上升而增加,随吸附温度的上升而下降。利用吸附剂的个特性,实现了对混合气体中某些组分的分离、提纯;利用吸附剂的第二个性质,实现吸附剂在低温高压下吸附、在高温低压下解吸再生。如果温度不变,在加压的情况下吸附,用减压(抽真空)或常压解吸的方法,称为变压吸附。变压吸附操作由于吸附剂的热导率较小,吸附热和解吸热所引起的吸附剂床层温度变化不大,故可将其看成等温过程,它的工况近似地沿着常温吸附等温线进行,在较高压力下吸附,在较低压力下解吸。变压吸附既然沿着吸附等温线进行,从静态吸附平衡来看,吸附等温线的斜率对它的是影响很大的。气冷罗茨泵吸附常常是在压力环境下进行的,变压吸附提出了加压和减压相结合的方法,它通常是由加压吸附、减压再组成的吸附一解吸系统。在等温的情况下,利用加压吸附和减压解吸组合成吸附操作循环过程。沃德气体受行业客户的好评,值得信赖。
有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。淄博沃德气体设备有限公司是以科研、生产、销售为一体的真空设备专业生产厂家,生产条件完善,检测手段完整齐全,公司研发的干式气冷真空泵及以它为基础的各种配套真空机组,技术**(ZJQ-2系列双极混合干式气冷罗茨真空泵获得国家**),环保节能,现已成为公司的拳头产品。产品制造精良,配置档次高,售后服务及时,在同行业中处于技术**。沃德气体技术力量雄厚,工装设备和检测仪器齐备,检验与实验手段完善。变压气冷罗茨泵选型
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罗茨真空机组的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要110-5mmHg的真空,所选真空泵的真空应至少为510-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散罗茨真空机组为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为510-4。〜510-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于110-5mmHg。3.在工作压力下,罗茨真空机组应能真空设备过程中产生的所有气体。4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需罗茨真空机组要前级泵,因此需要将泵组合在一起。变压气冷罗茨泵选型
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