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扫描电镜离子溅射镀膜法 在低真空(0.1～0.01托)状态下，在阳极与阴极两个电极之间加上几百至上千伏的直流电压时，电极之间会产生辉光放电。在放电的过程中，气体分子被电离成带正电的阳离子和带负电的电子，并在电场的作用下，阳离子被加速跑向阴极，而电子被加速跑向阳极。如果阴极用金属作为电极(常称靶极)，那么在阳离子冲击其表面时，就会将其表面的金属粒子打出，这种现象称为溅射。此时被溅射的金属粒子是中性，即不受电场的作用，而靠重力作用下落。如果将样品置于下面，被溅射的金属粒子就会落到样品表面，形 成一层金属膜，用这种方法给样品表面镀膜，称为离子溅射镀膜法。 和真空镀膜法比较，离子溅射镀膜法具有以下优点：(1)由于从阴极上飞溅出来的金属粒子的方向是不一致的，因而金属粒子能够进入到样品表面的缝隙和凹陷处，使样品表面均匀地镀上一层金属膜，对于表面凹凸不平的样品，也能形成很好的金属膜，且颗粒较细。(2)受辐射热影响较小，对样品的损伤小。(3)消耗金属少。(4)所需真空度低，节省时间。 扫描电镜这部分主要由电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室组成。广东比较好的扫描电镜价格

由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益普遍。扫描电子显微镜已普遍用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在电子扫描中，把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描，把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同，行扫描的速度比帧扫描的速度快，对于1000条线的扫描图象来说，速度比为1000。浙江推荐的扫描电镜拍照目前市场上提供的商品扫描电镜有：场发射扫描电镜(FEG-SEM)、常规扫描电镜(CSEM)以及生物用扫描电镜。

扫描电镜在追求高分辨率、高图像质量发展的同时，也向复合型发展，即成为把扫描、透射及微区成分分析、电子背散射衍射等结合为一体的复合型电镜，实现了表面形貌、微区成分和晶体结构等多信息同位分析。近几年随着计算机、信息数字化技术的发展和在扫描电镜上的应用，使得扫描电镜的各种性能发生了新的飞跃，操作更加快捷，使用更加方便，是科学研究及至工业生产等许多领域应用较为为普遍的显微分析仪器之一。扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡。

扫描电子显微镜电子器发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源；点光源在加速电压下形成高能电子束；高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点，在透过较为后一级带有扫描线圈的电磁透镜后，电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面，同时激发出不同深度的电子信号。此时，电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收，通过放大器同步传送到电脑显示屏，形成实时成像记录（图a）。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有：俄歇电子（Au E）、二次电子（SE）、背散射电子（BSE）、X射线（特征X射线、连续X射线）、阴极荧光（CL）、吸收电子（AE）和透射电子（图b）。每种电子信号的用途因作用深度而异。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

扫描电镜照片是灰度图像，分为二次电子像和背散射电子像，主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。 一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情况需要对比分析。 背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况，越亮的区域，原子序数越高。 2、看表面形貌，电子成像，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。扫描电镜是一种多功能的仪器，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已普遍地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中。它可以观察纳米粒子的形貌、在基体中的分散情况以及粒径的测量、材料断口分析、镀层表面形貌分析和深度检测、微区化学成分分析及显微组织及超微尺寸材料的研究等分析应用。在扫描电子显微镜中,成象的信息主要是电子信息。江苏扫描电镜多少钱

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扫描电镜超薄切片实际上是样品的二维切片，不能表达细胞的三维结构，而且在观察切片后所拍摄的显微照片时，容易造成错误的印象，用扫描电子显微镜( SEM )能直接观察标本表面的三维空间结构，真实地反映各种细胞表面和断裂面的形态特征，其照明源与透射电镜基本相同，由电子器经聚光镜汇聚成极细胞的电子探针，电子探针受扫描发生器控制，在样品表面逐点逐线的扫描，样品被电子轰击所产生的二次电子被收集、转换、放大，在电视荧光屏上同步扫描成像。二次电子的发射量与样品的表面形态有关，从而在荧光屏上出现表面起伏的样品立体图像。扫描电镜细胞样品的预处理包括取材、固定、脱水等。广东比较好的扫描电镜价格

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