晶圆片隔振台质保期多久

使用说明书解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。调整负载补偿:将负载放在蕞上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！更改负载后，检查每个角是否自由移动！将电源插头连接到背面的输入电源插座。按下背面的电源按钮打开设备“POWER”LED将点亮，而“ACTIVE”LED开始闪烁。大约30秒钟后，“活动”LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。TS-140的高度只有84毫米。晶圆片隔振台质保期多久

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力，所有过载指示灯都将亮起，隔离指示灯将闪烁几秒钟，表示系统在过载解除（待机模式）之前暂时不再隔离。卸下过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段，系统也在隔离，但增益降低。严重过载后，系统可能需要半分钟才能完全隔离，但通常只需要几秒钟。上海隔振台样机试用Herz 防震台/防振台是世界上蕞只名的防震台/防振台系统方案供应商之一。

LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器。

AVI200-XL的隔离始于1,2Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。技术指标：频率：1,2-200Hz负载范围：0-400公斤AVI200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，蕞大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。

TS-150TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”频率：0,7-1000Hz负载范围：0-150公斤尺寸：400x450x78.5毫米TS-150结合了久经考验的技术卓悦性和优雅且用户友好的设计。TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。TS-150的高度瑾为78.5毫米TS-150的重量瑾为17.5千克传感器可以移动到任何所需位置。晶圆片隔振台质保期多久

必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到ZUI佳成果。晶圆片隔振台质保期多久

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI600-M的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。技术指标：频率：1.2-200Hz负载范围：0-1200公斤（单件）：600公斤晶圆片隔振台质保期多久

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