杭州气氛炉非标定制
连续炉即是连续作业炉,是指连续地或间歇地装料,工件在炉内不断移动,完成加热、保温,有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料,连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量,提高劳动生产率和改善劳动条件。下面为大家介绍一下连续炉的技术参数。1.送风方式:送风循环系统;2.温度范围:RT+30℃~300℃;3.温度精度:1℃4.温度均匀性:1℃5.温控装置:富士智能PID温控仪,LED数字显示,PID自动演算及定时;6.材质:内胆不锈钢,外箱体钢板静电喷塑;7.传送方式:链杆、链网、自动锟轮,相当强承重;8.复合式电加热器;9.保护装置:漏电保护、断路保护、电机过载保护、接地保护、非正常运行情况下蜂鸣报警。气氛炉的发展前景如何呢?杭州气氛炉非标定制
密封性为了控制炉内的气氛,维持炉内的压力,炉内工作空间始终要与外界空气隔绝,尽量避免漏气和吸入空气,故要求炉壳,砌体,炉门及所有外界连接零件如风扇,热电偶,辐射管,推拉料机等采用密封装置;气氛控制为了维持炉内的一定碳势,除了控制气氛成分的稳定性外,还要对炉内气氛进行自动控制。因此,需要设有各种控制仪表(如图1),以便对炉内气氛连续或定期测定并调整炉内的供气量。气氛炉的特点是在某一既定温度下,向炉内通入一定成分的人工制备气氛,以达到某种热处理的目的,如气体渗碳,碳氮共渗及光亮淬火,退火,正火等。杭州气氛炉维修合肥真萍科技为您提供专业的售后服务!
下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。1.机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2.箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。3.微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。4.智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优良材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。
加热方法为了保证气氛的稳定性,气氛炉可分为马弗炉和无马弗炉两种,马弗炉的火焰在马弗外,工件在马弗内进行间接加热;无马弗炉采用各种火焰辐射管或者电辐射管,将火焰或者电热体与炉气隔开,以免破环炉内气氛的稳定。防爆装置还原气体和空气混合达到一定混合比,在一定温度下易引起,故对炉子的前,后室,淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置,炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。无马弗气氛炉采用还原性气体,为了不影响砌体的使用寿命,以及不破环正常炉内气氛,要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。如何挑选气氛炉,敬请来电咨询真萍科技!
下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。1.HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。2.低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)3.温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)4.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)合肥真萍科技的气氛炉是否耐用?合肥气氛炉厂家直销价格
上海哪家气氛炉厂家值得信赖?杭州气氛炉非标定制
本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱,首先简单介绍一下HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。杭州气氛炉非标定制