江苏mems电容真空计设备公司

时间:2025年01月01日 来源:

按测量原理分类

电离真空计测量原理:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。示例:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、放射性电离真空计等。放电管指示器测量原理:利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般能作为定性测量。粘滞真空计测量原理:利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。示例:振膜式真空计、磁悬浮转子真空计等。场致显微仪测量原理:以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。分压力真空计测量原理:利用质谱技术进行混合气体分压力测量。示例:四极质谱计、回旋质谱计、射频质谱计等。 真空计使用过程中常见的问题有哪些?江苏mems电容真空计设备公司

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皮拉尼真空计利用惠斯通电桥的补偿原理,通过测量一个发热体与一个接收发热体之间的热传导程度来判断气体的压力。具体来说,当加热灯丝(一般为铂丝)被恒定电流加热时,其温度会升高。对于给定大小的电流,加热丝的温度取决于通过传导和对流向周围介质(即气体)散热的速率。在真空或低压环境中,加热丝的热导率(即将热量散发给周围介质的能力)会降低,导致加热丝变得更热。这种温度变化会引起导线电阻的变化,这种变化可以通过惠斯通电桥来测量。当气体分子密度发生变化时,热量从金属丝传递到气体会受到影响。这种热损失取决于气体类型和压力,使金属丝保持在一定温度下所需的能量也相应变化。因此,可以通过测量这种能量变化来间接测量真空压力。河南mems真空计设备供应商真空计如何选型与使用?

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真空计是一种用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压的仪器。以下是真空计的主要特点:一、高精度真空计具有高精度度的特点,能够测量非常微小的压力变化。这种高精度使得真空计在需要精确控制真空度的场合中非常有用,如半导体制造、真空冶金和科学研究等领域。二、使用方便现代真空计通常采用数字化显示屏幕,与传统的指针表相比更加直观和方便。数字化显示使得用户能够更轻松地读取测量结果,并进行数据记录和分析。三、稳定性能良好真空计具有良好的稳定性,能够在各种环境条件下保持测量精度。即使在一些恶劣的工业环境中,真空计也能够工作良好,不易受外界干扰。这种稳定性使得真空计在长时间监测真空度的应用中非常可靠。四、测量范围广不同类型的真空计适用于不同的测量范围,从粗真空到高真空都有相应的真空计可供选择。这使得真空计能够满足不同领域和应用场景的需求。

气体种类:特别是热传导式和电离式真空计,测量值会随气体的种类变化,通常需要对不同气体进行校准。污染和老化:真空计的探头在长期使用中可能会受到污染或老化,尤其是电离式真空计中的热阴极,需要定期维护。环境温度:真空计的性能会受到环境温度的影响,尤其是皮拉尼真空计,其电阻元件对温度变化敏感,可能需要在恒温环境下进行精确测量。综上所述,真空计是一种精密测量真空度的关键仪器,在多个领域都发挥着重要作用。选择合适的真空计并正确使用和维护,对于确保工艺的精度和效率至关重要。电容真空计与热传导式真空计相比有何不同?

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    真空计的历史沿革1946年:,是一种***型高真空真空计。。1948年:,是典型的一类气体组分与分压强测量的真空计。1949年:、、,也是测量气体组分及分压强的一类重要的真空计。1950年:(又称热阴极超高真空电离真空计),解决了超高真空测量问题,推动了超高真空技术的发展。1951年:、、,是一种与气体种类无关的***型真空计。1953年:、,此类真空计**小可检测分压强达10^-14Pa。1957年:德国人、高压强电离真空计,尽量利用离子流的较好的线性等优点来代替热传导规的不足。1959年:,制造工艺过于复杂难以推广应用。1960年以来:相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10^-11Pa左右的超高真空测量。七十年代后的二三十年:真空测量技术领域在新原理方面没有出现明显突破性的进展,较多的是在基本清晰的原理思路上的改进与补充,处于一个相对稳定的时期。 真空计的读数可能会受到外部环境因素的影响。南京皮拉尼真空计公司

皮拉尼真空计测量范围?江苏mems电容真空计设备公司

根据测量原理的不同,真空计可以分为多种类型:波尔登规:利用细铜管在不同气压下的舒展现象进***压测量。薄膜电容规:利用金属膜片在不同压力下变形导致的电容变化进***压测量。皮拉尼电阻规:利用电阻与温度之间的关系,通过测量加热电阻丝的温度变化来推算气压。热电偶规:与皮拉尼电阻规基本原理一致,但用热电偶直接测量热丝的温度变化。热阴极电离规:通过发射电子电离真空中的气体分子,产生离子,并测量离子电流的大小来推算气压。冷阴极电离规:利用磁控放电电离气体分子产生离子,并测量离子电流的大小来推算气压。江苏mems电容真空计设备公司

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