甘肃自动探针台要多少钱

探针（探针卡）：待测芯片需要测试探针的连接，才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针尖锐端尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件，探针臂应与探针尖匹配。探针夹具及电缆组件：探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。操纵器（定位器）：探针台使用操纵器将探针放置在被测物上，它可以很容易地定位探针并快速固定它们。通常使用磁铁或真空把它们固定在适当的位置。一旦固定，操纵器可以在X、Y和Z方向上精确定位探针尖锐端，并且在某些情况下提供旋转运动。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动。甘肃自动探针台要多少钱

半自动型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y电动移动行程200mm/150mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm；可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数6～8颗；显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"；可搭配Probecard测试；适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）；X,Y电动移动行程300mmx300mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数8～12颗；显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“；材质：花岗岩台面+不锈钢；可搭配Probecard测试；适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品。甘肃温控探针台探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，负责晶圆的输送与定位。

以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小(纳米级)的微电子器件，表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生，利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮，控制固定在针座上的探针杆做三向移动，移动范围12mm，移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材，一般客户自己准备)，探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上，从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件，多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。

晶圆测试基本的一点就是：晶圆测试必须能够辨别芯片的好坏，并使合格芯片继续进入下面的封装工艺。为了确保芯片功能和成品率的有效测试，封装厂商和设备制造者需要不断探索，进而找到高精度、高效率和低成本的测试方法，并运用新的组装工艺要求对晶圆片进行探测，这些要求将引起设备和工艺过程的重大变化。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动，从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。某些针尖位置低的扎伤AL层，对后续封装压焊有影响。

通常，参数测试系统将电流或电压输入被测器件（DUT），然后测量该器件对于此输入信号的响应。这些信号的路径为：从测试仪通过电缆束至测试头，再通过测试头至探针卡，然后通过探针至芯片上的焊点，到达被测器件，并后沿原路径返回测试仪器。如果获得的结果不尽如人意，问题可能是由测量仪器或软件所致，也可能是其它原因造成。通常情况下，测量仪器引进一些噪声或测量误差。而更可能导致误差的原因是系统的其它部件，其中之一可能是接触电阻，它会受探针参数的影响，如探针的材料、针尖的直径与形状、焊接的材质、触点压力、以及探针台的平整度。此外，探针尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。圆片移动到下一个芯片的位置，这种方法可以让圆片上的每一个芯片都经过测试。甘肃自动探针台要多少钱

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自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试，根据测试结果评定上一道工序的工艺质量，并指导下一道工序。从全球市场看，半导体探针台设备行业集中度较高，目前主要由国外厂商主导，行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品，国内在这一方向研究几乎为零，市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投产X系列半自动探针台并成功推向市场，成功填补国内该研发生产领域的空白。甘肃自动探针台要多少钱