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推荐将耐蚀刻膜6的厚度抑制为75μm以下,进一步推荐地,可以将耐蚀刻膜6的厚度设为60μm以下。如后所述,在本实施方式中,通过形成改性线来加快蚀刻处理,因此即使将耐蚀刻膜6超薄化,也不易带来缺点。在切取多块用玻璃母材4粘贴耐蚀刻膜6后,转移至图14的(c)所示的激光扫描步骤。在激光扫描步骤中,沿与要取出的玻璃面板2的形状对应的形状切断预定线来进行激光束的扫描。其结果是,沿形状切断预定线去除耐蚀刻膜而形成开口部。进而,如图15的(a)~图15的(c)所示,在切取多块用玻璃母材4形成具有易被蚀刻的性质的改性线20。通过沿形状切断预定线去除耐蚀刻膜6,从而沿形状切断预定线来形成耐蚀刻膜6的开口部,其结果是,如图15的(c)所示,切取多块用玻璃母材4的改性线20的形成位置将露出至外部。在本实施方式中,采用了基于皮秒激光的纤线加工,改性线20的宽度被设定为大致10μm以下。若激光扫描步骤结束,则转移至蚀刻步骤。在激光扫描步骤后,通过使切取多块用玻璃母材4与蚀刻液接触来蚀刻改性线20。沿改性线20,蚀刻液变得容易浸透,因此在侧面蚀刻加剧前能结束蚀刻处理。其结果是,能在将伴随蚀刻处理的侧面蚀刻的影响抑制到**小限度的同时。高铁玻璃要求检测点数多、检测度高、面型要求高,光学检测玻璃面型检测可达纳米级精度。南京汽车玻璃面型检测公司
图16是表示从切取多块用玻璃母材得到多个玻璃面板的状态的图。图17是表示本发明的一实施方式所涉及的液晶面板的概略构成的图。图18是表示包含多个液晶面板的切取多块用玻璃母材的概略构成的图。图19是表示粘贴有耐蚀刻性薄膜的状态的切取多块用玻璃母材的概略构成的图。图20是表示针对切取多块用玻璃母材的激光加工的概略的图。图21是表示本发明所应用的蚀刻装置的一例的图。图22是表示本发明所应用的蚀刻处理的变形例的图。图23是表示针对切取多块用玻璃母材的划线折断加工的概略的图。图24是表示分割后的状态的切取多块用玻璃母材的概略的图。图25是表示液晶面板的构成的特征的图。具体实施方式首先,使用图1~图3来说明本发明所涉及的带透明薄膜的玻璃面板的制造方法的一实施方式。图1的(a)示出了用于将带透明薄膜的玻璃面板切取出多块的切取多块用玻璃母材4的概略。切取多块用玻璃母材4在其表面形成有透明薄膜(ito膜、有机导电膜等透明导电膜或者透明保护膜等)7。为了从切取多块用玻璃母材4得到多个期望形状的带透明薄膜的玻璃面板2,首先,如图1的(b)所示,沿与要取出的带透明薄膜的玻璃面板2的形状对应的形状切断预定线来进行激光束的扫描(激光扫描步骤)。南京在线玻璃面型检测咨询测量系统重复性变异占总变异的 0.66%,占公差的 0.17%,均在可接受标准 10%以内玻璃面型检测。
例如能使用以聚乙烯树脂、聚丙烯、聚氯乙烯或者聚烯烃系树脂等为原材料的材料。若耐蚀刻膜6的粘贴完成,则接下来如图3的(c)所示,沿与要取出的玻璃面板2的形状对应的形状切断预定线来进行激光束对耐蚀刻膜6的扫描。通过该激光束的扫描,沿形状切断预定线去除耐蚀刻膜6。而且,沿形状切断预定线形成耐蚀刻膜6的开口部,其结果是,如图2的(c)所示,切取多块用玻璃母材4的改性线20的形成位置将露出至外部。在耐蚀刻膜6沿形状切断预定线形成有开口部后,转移至蚀刻步骤。在激光扫描步骤后,通过使切取多块用玻璃母材4与蚀刻液接触,来蚀刻改性线20。蚀刻液容易沿改性线20浸透,因此能在侧面蚀刻加剧前结束蚀刻处理。其结果是,能在将伴随蚀刻处理的侧面蚀刻的影响抑制到**小限度的同时,从切取多块用玻璃母材4取出多个带透明薄膜的玻璃面板2。此外,关于在蚀刻步骤中所使用的蚀刻装置的构成等,在后述的液晶面板的制造时一起说明,因此在此省略其说明。接着,说明本发明所涉及的液晶面板的制造方法的一实施方式。图5的(a)示出了本发明的一实施方式所涉及的液晶面板10的概略构成。如同图所示,液晶面板10构成为阵列基板12以及彩色滤光片基板14夹着液晶层进行贴合。
本发明涉及一种带透明薄膜的玻璃面板的制造方法以及带透明薄膜的液晶面板的制造方法,用于从带透明薄膜的切取多块用玻璃母材得到多个期望形状的玻璃面板和期望形状的液晶面板。背景技术:一般而言,在液晶面板、盖板玻璃等玻璃面板的制造时,进行从切取多块用玻璃母材得到期望形状的多个玻璃面板这样的处理。例如,***采用了如下手法(所谓的切取多块):在液晶面板的制造中,以一组玻璃母材来同时制造多个液晶面板,其后将玻璃母材分割为单个液晶面板。而且,在分割玻璃母材时,多使用划线折断、激光烧蚀加工、蚀刻处理这样的手法。然而,在采用划线折断的情况下,难以形成具有带圆度的轮廓的玻璃面板。另外,在激光烧蚀加工中,容易发生加工速度变慢或产生因烧蚀碎片所致的污损这样的不良状况。为此,现有技术中,通过蚀刻处理来将切取多块用玻璃母材进行分割从而得到多个玻璃面板的技术受到关注。蚀刻处理是为了得到期望形状的盖板玻璃而使用的,**近,在从用于切取多块液晶面板的切取多块用玻璃母材得到多个给定形状的液晶面板时也使用蚀刻处理,该液晶面板是将阵列基板以及彩色滤光片基板进行贴合而成的(例如,参照专利文献1)。玻璃面型检测用于大面幅玻璃检测,用时3秒,是工业检测中速度快、品质高的方法。
如同图所示,液晶面板10的端面相对于主面大致呈直角。例如,能将在分别为~(图13的(c)中的l1~l4)抑制为50μm以下(大多为20~35μm)。如此,在制造液晶面板10时,侧面蚀刻的影响几乎不发生,因此能设计将液晶面板10彼此相近配置的切取多块用玻璃母材50。例如,若以激光宽度2μm+α而存在合计10μm左右的间隙,则能将切取多块用玻璃母材50适当地分离成单个液晶面板10。首先,使用图14~图16来说明本发明所涉及的玻璃面板制造方法的一实施方式。图14的(a)示出了用于将玻璃面板2切取多块的切取多块用玻璃母材4的概略。为了从切取多块用玻璃母材4得到多个期望形状的玻璃面板2,首先,如图14的(b)所示,透明的耐蚀刻膜6粘贴于切取多块用玻璃母材4的至少两主面。在本实施方式中,作为耐蚀刻膜6,采用了透明的聚乙烯树脂材料。但作为耐蚀刻膜6,还能采用透明的聚丙烯、透明聚氯乙烯、烯烃系树脂等。在本实施方式中,耐蚀刻膜6与本发明所涉及的耐蚀刻层对应。耐蚀刻膜6采用厚度为100μm以下的薄型的材料。通过薄型化,容易进行剥离,且若还考虑减小激光束经过时的光学的影响,耐蚀刻膜6的厚度推荐设为为了满足耐蚀刻性能所需的**小限度的厚度。由此。玻璃的弧度、轮廓、形状、瑕疵的玻璃面型检测设备。无锡翘曲度玻璃面型检测质量好价格忧的厂家
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另外,在前述段落记载的方法中,在难以进行切取多块用玻璃构件的分割的情况下,在上述激光扫描步骤中,沿形状切断预定线,去除透明薄膜且将改性线*形成于阵列基板或者彩色滤光片基板的任一者,其后通过从相反侧扫描激光来将改性线还形成于阵列基板或者彩色滤光片基板的另一者即可。在上述带透明薄膜的玻璃面板的制造方法以及带透明薄膜的液晶面板的制造方法的任一者中,在蚀刻处理后,成为在形状切断预定线上实质上几乎被切断的状态,因此通过施加些许机械压力、热应力,就能实现完全的切断。通过施加微小的按压力、或给予微小的超声波振动、或进行加热,就能不对切取多块用玻璃母材造成污损而实现完全的切断。在上述玻璃面板制造方法以及液晶面板制造方法中,改性线推荐呈通过脉冲激光的光束而形成的具有多个贯通孔或者多个改性孔的穿孔状。通过脉冲激光对玻璃面板、液晶面板的形状切断预定线进行加工,因此即使在玻璃面板、液晶面板的轮廓中包含复杂的曲线或微小的曲线部分或者在玻璃面板、液晶面板形成有开口部的情况下,也能实现适当的加工。本发明所涉及的玻璃面板制造方法用于从切取多块用玻璃母材得到多个期望形状的玻璃面板。南京汽车玻璃面型检测公司
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