广东光伏异质结制绒设备

釜川自主研发的“零界”高效异质结电池整线制造解决方案已实现设备国产化，该解决方案叠加了双面微晶、无银或低银金属化工艺，提升了太阳能电池的转换效率、良率和产能，并极大降低了生产成本。釜川以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品，打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队，凭借技术竞争力，在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面的有独特优势；以高效加工制造、快速终端交付的能力，为客户提供优质的整线工艺设备的交付服务。光伏异质结的制造工艺不断优化，降低了生产成本，提高了产量和良品率。广东光伏异质结制绒设备

异质结电池的清洗制绒：在沉积a-Si:H之前的晶圆清洗有两个作用。一个是去除晶圆表面的颗粒和金属污染。另一个是用氢气使表面上的悬空键部分钝化。清洁是降低a-Si:H/c-Si界面状态密度的关键一步。不同清洁程序的效果可以通过测量清洁过的晶圆的载流子寿命来研究，这些晶圆已经用相同的a-Si:H薄膜进行了钝化。在高质量硅片的块状区域的载流子重组可以被认为是可以忽略的，因此对载流子寿命的测量表明了表面重组，因此也表明了清洁过程的质量。下图显示了在代尔夫特理工大学进行的三种不同清洗方法的比较。在晶圆两面沉积本征a-Si:H层之前，以三种不同的方式处理（100）取向的FZ c-Si晶圆。晶圆使用标准的RCA清洗，第二个晶圆使用涉及浓硝酸的标准DIMES清洗程序进行清洗。所有三个晶圆都被浸泡在HF中，以去除原生氧化层，这是对第三个晶圆进行的处理。在预处理之后，在晶圆的两面都沉积了120纳米厚的本征a-Si:H层，每次运行都使用相同的沉积条件。使用Sinton寿命测试器测量载流子寿命，以评估钝化质量。使用标准RCA工艺清洁的晶圆载流子寿命高，因此钝化效果也好。只接受HF浸渍处理的晶圆观察到低的载流子寿命。南京自动化异质结湿法设备异质结电池能够充分利用太阳能资源，为人类创造更多的清洁能源和经济效益。

高效异质结太阳能电池使用晶体硅片进行载流子传输和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅层进行钝化和结的形成。顶部电极由透明导电氧化物（TCO）层和金属网格组成。异质结硅太阳能电池已经吸引了很多人的注意，因为它们可以达到很高的转换效率，可达26.3%，相关团队对HJT极限效率进行更新为28.5%，同时使用低温度加工，通常整个过程低于200℃。低加工温度允许处理厚度小于100微米的硅晶圆，同时保持高产量。异质结电池具备光电转化效率提升潜力高、更大的降成本空间、更高的双面率、可有效降低热损失、更低的光致衰减、制备工艺简单等特点，为光伏领域带来了新的希望。

异质结电池生产流程与常规晶硅工艺的区别。常规晶硅工艺：1、清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2、扩散制结。通过热扩散等方法在硅片上形成不同导电类型的扩散层，以形成p-n结；3、刻蚀去边。去除扩散后硅片周边的边缘结；4、去磷硅玻璃。扩散过程中，在硅片表面会形成一层含磷的氧化硅，称为磷硅玻璃（PSG），需要用氢氟酸腐蚀去掉；5、镀减反射膜。为进行一步提高对光的吸收，在硅片表面覆盖一层减反射膜。常用PECVD进行SiNx薄膜沉积，同时起到钝化的作用；6、栅线电极。在电池正面用丝网印刷进行栅线电极制作，在背面印刷背场(BSF)和背电极，并且进行干燥和烧结；7、电池测试及分选。光伏异质结是一种高效太阳能电池，具有双面发电和低光衰减等优点。

光伏异质结的效率提高可以从以下几个方面入手：1.提高光吸收率：通过优化材料的能带结构和厚度，增加光吸收的有效路径，提高光吸收率，从而提高光电转换效率。2.提高载流子的收集效率：通过优化电极结构和材料，减小电极与半导体之间的接触电阻，提高载流子的收集效率，从而提高光电转换效率。3.降低复合损失：通过控制材料的缺陷密度和表面状态，减少载流子的复合损失，从而提高光电转换效率。4.提高光电转换效率：通过优化材料的能带结构和电子结构，提高光电转换效率，从而提高光伏异质结的效率。5.提高光伏电池的稳定性：通过优化材料的稳定性和耐久性，提高光伏电池的使用寿命和稳定性，从而提高光伏异质结的效率。异质结电池主工艺之一：金属化设备。南京高效异质结低银

异质结电池具有环保、可持续的特点，能够为未来的可持续发展做出重要贡献。广东光伏异质结制绒设备

异质结电池（HJT电池）的特点和优势1、无PID现象由于电池上表面为TCO，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，无PID现象。同时实测数据也证实了这一点。异质结太阳能电池的技术应用与前景2、低温制造工艺HJT电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。3、高效率HJT电池一直在刷新着量产的电池转换效率的世界纪录。HJT电池的效率比P型单晶硅电池高1-2%，而且之间的差异在慢慢增大。4、高光照稳定性异质结太阳能电池的技术应用与前景在HJT太阳能电池中不会出现非晶硅太阳能电池中常见的Staebler-Wronski效应。同时HJT电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。5、可向薄型化发展HJT电池的制程温度低，上下表面结构对称，无机械应力产生，可以顺利实现薄型化；另外经研究，对于少子寿命较高（SRV<100cm/s）的N型硅基底，片子越薄可以得到越高的开路电压。广东光伏异质结制绒设备