釜川异质结电池整线设备

异质结电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。釜川（无锡）智能科技有限公司，以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品，打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队，凭借技术竞争力，在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面都有独特优势；以高效加工制造、快速终端交付的能力，为客户提供整线工艺设备的交付服务。异质结电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。釜川异质结电池整线设备

光伏异质结是一种由不同材料组成的太阳能电池结构。它由两种或更多种不同的半导体材料组成，其中一种是p型半导体，另一种是n型半导体。这两种半导体材料的电子结构不同，因此它们的导电性质也不同。在光伏异质结中，p型半导体和n型半导体之间形成了一个pn结，这是一个具有特殊电学性质的界面。当光线照射到光伏异质结上时，光子会被吸收并激发出电子和空穴。由于pn结的存在，电子和空穴会被分离，电子会向n型半导体移动，空穴会向p型半导体移动。这种电子和空穴的分离会产生电势差，从而产生电流。这就是光伏异质结的工作原理。光伏异质结具有高效率、长寿命、低成本等优点，因此被广泛应用于太阳能电池、太阳能电池板、太阳能电池组等领域。随着技术的不断进步，光伏异质结的效率和性能将不断提高，为太阳能产业的发展提供更多的可能性。河南高效异质结PECVD光伏异质结技术的不断进步将进一步推动太阳能产业的快速发展和普及。

异质结电池生产设备，本征非晶硅薄膜沉积（i-a-Si:H）i-a-Si:H/c-Si界面处存在复合活性高的异质界面，是由于界面处非晶硅薄膜中的缺陷和界面上的悬挂键会成为复合中心，因此需要进行化学钝化；化学钝化主要由氢钝化非晶硅薄膜钝化层来完成，将非晶硅薄膜中的缺陷和界面悬挂键饱和来减少复合性缺陷态密度。掺杂非晶硅薄膜沉积场钝化主要在电池背面沉积同型掺杂非晶硅薄层形成背电场，可以削弱界面的复合，达到减少载流子复合和获取更多光生载流子的目的；掺杂非晶硅薄膜一般采用与沉积本征非晶硅膜层相似的等离子体系统来完成；p型掺杂常用的掺杂源为硼烷(B2H6)混氢,或者三甲基硼(TMB)；n型掺杂则用磷烷混氢（PH3)。优越的表面钝化能力是获得较高电池效率的重要条件，利用非晶硅优异的钝化效果，可将硅片的少子寿命大幅度提升。

异质结电池整线生产设备，l在扩散的过程中，pn结p区一侧出现负电荷区，n区一侧出现正电荷区，其形成空间电荷区，在空间内部形成内建电场，载流子做漂移运动，阻碍电子与空穴的扩散，达到平衡，能带停止相对移动，p区能带相对于n区上移，n区能带相对于p区下移，pn结的费米能级处处相等，即载流子的扩散电流和漂移电流相互抵消；pn结势垒区存在较强的内建电场（自n区指向p区），则p区的电子进入n区，n区的空穴进入p区，使p端电势升高，n端电势降低，在pn结两端产生光生电动势，即为PN结的光生伏特效应。同理，由于光照在PN结两端产生光生电动势，即在PN结两端加上正向偏压V，则产生正向电流IF，在PN结开路时，光生电流等于正向电流，PN结两端建立起稳定的电势差VOC，即光电池的开路电压，这就是光电池的基本原理。光伏异质结的制造过程中，非晶硅层可以作为掩膜，提高电池的抗反射性能，从而提高光电转换效率。

高效光伏异质结电池整线设备，HWCVD 1、热丝化学气相沉积(HotWireCVD，HWCVD)是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来制备非晶硅薄膜，对衬底无损伤，且成膜质量非常好，但镀膜均匀性较差，且热丝作为耗材，成本较高；2、HWCVD一般分为三个阶段，一是反应气体在热丝处的分解反应，二是基元向衬底运输过程中的气相反应，第三是生长薄膜的表面反应。PECVD镀膜均匀性较高，工艺窗口宽，对衬底损伤较大。HWCVD是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来成膜，对衬底无损伤，且成膜质量好，但镀膜均匀性较差且成本较高。光伏异质结电池PECVD是制备PIN层的主流设备，其结构和工艺机理复杂，影响因素众多，需要专业公司制备。广东高效异质结铜电镀产线

光伏异质结电池PECVD是制备PIN层的主流设备，其结构和工艺机理复杂，需要专业公司制备。釜川异质结电池整线设备

太阳能异质结电池工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H，作为钝化层，然后再沉积掺杂层；3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积；4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作；5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作，然后通过低温烧结形成良好的接触；6.光注入。7.电池测试及分选。釜川异质结电池整线设备