南京三十万洁净室
洁净室的空气洁净度,应进行下列测试(一)空态、静态测试空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。二、空态、静态测试(一)测试前的准备1.应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。2.采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。(二)测试内容1.总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;2.洁净室压力值。 洁净室工程常用材料有哪些,欢迎致电上海中沃。南京三十万洁净室
洁净室空调系统的特点:1风量大洁净室主要是通过空气量的循环来过滤空气中的尘埃、细菌等,实现对空气中非生物粒子和生物粒子的控制,达到洁净的标准。因此需要有足够的风量来保证室内的洁净度。洁净室的风量一般按照室内换气次数来计算,通常是10倍,甚至几十倍,尤其是单向流洁净室,换气次数达到房间体积的几百倍。2风机的压头高洁净室一般至少要采用初、中、高三级过滤器过滤,而这三级过滤器的阻力加起来就有700~800帕左右,洁净室一般也要采用集中送、回风的方式,以保证维持洁净室的正负压调节的要求,所以洁净室的管道阻力一般比普通空调的要多一倍以上。需要克服这些阻力,就要求空气处理机组的送风机有足够的压头,所以洁净室的空气处理机组的送风机组一般采用后弯机翼型的风机,或者是无窝壳的风机。 天津洁净室车间三十万级洁净室厂家?上海中沃提供定制服务。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了,所以必须有±,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好温度范围为35—45%。气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。
应将机组内壁的灰尘清擦干净,较后用消毒液清擦,消毒。J.每二到三个月清洗或更换中效过滤器。K.高效过滤器一般使用半年后报废更换新的。L、每季度给风机轴承加油一次,调整风机皮带张紧度,紧固螺丝,防止松动。N、每半年将机组内表冷器用清水冲洗,排水口处用抹布擦干净,并消毒。M、冷凝水排水口不得有污物,死水。O、配电箱、控制箱是机房的心脏,每半年清扫灰尘一次,对烧蚀的开关、接触器及时更换,并防止鼠虫咬坏线缆。P、风冷水循环机组在夏季来临前,一定关闭热水给回水的阀门,开启室外空调机组的给回水阀门,检查试运行循环水泵和备用水泵,严禁在室外机组工作状态下,循环水泵处于停机状态,避免压缩机和交换器冻坏。Q、风冷水循环机组在冬季来临前,一定做好防冻工作,室外机组管道内的水一定放干净,可以拆开一节阀门开春再组装。巡视水管各阀门的开闭状态,室外机组的管道阀门一定要关闭,热水给回水阀门一定要开启。Z、空调管道内的水,较好在每年过度季节更换一次,避免水中杂质沉积。 洁净室的报价方案?找上海中沃。
洁净室分类 编辑 洁净室按气流的流动状态分 根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 [1] : (1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上; 回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。上海中沃电子科技有限公司供上海洁净室厂家?找上海中沃。天津洁净室车间
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洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。中文名洁净室外文名CleanRoom亦称无尘车间、无尘室主要功能控制空气污染应用场合精密机械工业、半导体工业等行业目录1简介2分类▪按气流的流动状态分▪按受控粒子的性质划分3实现洁净度要求的通风措施4洁净室气流组织考虑原则5洁净室的负荷特点和节能6洁净室设计对生产工艺的要求洁净室简介编辑洁净室的发展与现代工业、前列技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率*10%~15%,64为储存器*2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。 南京三十万洁净室
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