中山DLC薄膜DLC涂层原理

时间:2022年07月12日 来源:

DLC处理的工艺流程包括所需处理工件基体的处理(抛光、清洗)、靶材的选择、成形工艺条件的设定、成形及成形后的检测等。要想得到G品质的DLC涂层,工件基体处理的好坏至关重要。将工件要抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量,这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的(如成形光学镜头和成形LED零件)。这里要注意的是基体表面处理不能留有死角,这关系到膜层是否能与基体牢固地结合。将要涂覆的工件还要充分清洗。清洗工艺取决于涂覆的质量水平、母材和几何形状。工件装在设定的夹具上,夹具是在使腔体装载尺寸Z好化和保证涂覆均匀的基础上设计的。真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物。真空室中通入惰性气体并使其离子化。导致产生辉光放电(等离子体)。DLC涂层具有良好的化学稳定性,耐腐蚀(防酸、碱、盐)性能好,热导率高。中山DLC薄膜DLC涂层原理

DLC涂层处理使用的是一种物理Q相沉积工艺技术PVD(physicalvapordeposition)。是在真空条件下(1.3x10-2~1.3x10-4Pa),采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。DLC涂层是一种在微观结构上含有金刚石成分的涂层。构成DLC的主要元素为碳,碳原子之间的不同结合方式,Z终产生不同的物质:金刚石(diamond)--碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)一碳碳以sp2键的形式结合。类金刚石(DLC)一碳碳以sp3和sp2健的形式结合;其涂层结构是由碳的sp3和sp2形态混合而成的无定型组织(没有显性的晶格结构),涂层性能的好坏取决于形成的膜层结构中sp3和sp2各自所占的百分比,sp3所占的比率越高,膜层性能越接近天然金刚石,显微硬度越高;sp2所占的比率越高,膜层的自润滑性能越好,摩擦因数越小,但显微硬度会降低(它和金属之间的摩擦因数的范围一般是0.05~O.2)。通过设定生产流程中的工艺参数和选择不同的靶材,可以控制Z终成形膜层的属性来满足不同场合的需求。肇庆手机外壳DLCDLC涂层是什么利晟纳米:DLC涂层在家居产品中的应用。

DLC涂层的应用。DLC金刚石涂层以其独特的优点应用于对摩擦和磨损有特殊要求的场合,并受到好评。1.模压成型领域:DLC金刚石涂层技术可用于顶杆及各种镶件.模腔及型芯等。2.切割领域:可用于铣刀.钻头.硬质合金刀片等。3.引擎领域:活塞销.阀类.活塞.顶杆等。4.半导体领域:引脚成形模具的刀口件.封装模具的成形镶嵌件及镶块等。5.金属材料成型领域:DLC涂层可用于凹模.凸模.压印成型.精密冲裁等。6.其他部件:齿轮.轴.凸轮.轴承及自动滚轮等部件。

dlc涂层在许多不同的工业领域都有广阔应用,那么dlc涂层的优缺点有哪些?一、dlc涂层的优点:1、优良的力学性能(1)硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大,用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜,用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上,而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响,Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量,虽低于金刚石(110GPa),但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。(2)内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命,影响薄膜性能的两个重要因素,内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱,甚至脱落,所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明,直接在基体上沉积的DLC膜的膜\基结合强度一般比较低,通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度,在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N,制备的膜导总体厚度可达5um。DLC涂层的活塞环可以在无润滑油的干态摩擦条件下起到良好的润滑和耐磨减磨的作用。

DLC涂层工艺处理过程:真空涂层设备DLC涂层冷却也是热处理过程中不可缺少的一步。由于工艺不同,真空涂层机DLC涂层的冷却方法也不同,主要是控制冷却速度。金刚石涂层一般退火冷却速度较慢,正火冷却速度更快,淬火冷却速度更快。然而,由于钢的种类不同,真空涂层的DLC涂层也有不同的要求。例如,空硬钢可以以与正火相同的冷却速度淬火。真空涂层机DLC涂层金属热处理工艺一般可分为三类:整体热处理、表面热处理和化学热处理。根据加热介质、加热温度和冷却方法的不同,真空涂层设备DLC涂层可分为若干不同的热处理工艺。真空涂层机DLC涂层采用不同的热处理工艺,可获得不同的组织,具有不同的性能。真空涂层设备DLC涂层钢是工业上应用较普遍的金属,钢的显微组织也是较为复杂的,所以钢的热处理工艺有很多种。DLC涂层的基本概念和特点。珠海手机外壳DLCDLC涂层视频

DLC类金刚石涂层工艺流程及质量检验。中山DLC薄膜DLC涂层原理

DLC涂层的缺点:传统的DLC涂层通常不到5微米,很容易被刮擦掉,远远达不到发动机的实际使用寿命。无论是在什么样的零件上使用,一般来说,在满足零件尺寸要求的前提下,涂层的厚度,尤其是DLC涂层的厚度往往是越厚越好,这样零件的耐磨性会相应提高。然而,一旦涂层的厚度增加,尤其是DLC层的厚度增加,就会导其内应力增大,影响涂层和基材结合力,导致涂层与基材剥离,这就对涂层的使用寿命和效率产生影响。因此,厚度及其表现出的耐磨性一直是应用上的一个瓶颈。但是这一问题随着涂层加工业的发展已经得到了克服,可以说,dlc涂层是一种性能良好的有着广阔应用前景及发展前景的涂层。中山DLC薄膜DLC涂层原理

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