珠海PVDDLC涂层技术

DLC涂层在模具上的运用：①冲压成形模具：凸模、凹模、精细冲裁、压印成形零件等。②注塑成形模具：模腔和型芯、顶杆及各类镶件等。③半导体模具：引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。④其他零部件：轴类、齿轮、轴承、凸轮和从动滚轮等。DLC涂层具有高硬度、表面平滑、低磨擦系数、易脱模、耐磨耗、耐酸碱、热导性佳及低温制程等特性。材料的高压冲刷与颗粒很难对其形成损伤，因此远比其它材料更适合运用在模具的维护上，大幅度地增加模具运用寿命。DLC/DLC涂层是一种基于DLC涂层技术的高级表面涂层技术。珠海PVDDLC涂层技术

中山DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能，并可在低衬底温度(~200°C)下沉积。DLC薄膜通常是非晶的（即没有占主导地位的晶格结构），由sp2（石墨）和sp3（金刚石）相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间，而膜硬度和sp3含量可以根据具体应用而定制。佛山DLC涂层处理厂DLC涂层可以应用于切削工具、模具等，提高工具的耐磨性和使用寿命。

在涂覆完成后，需要对成形后工件的膜层质量进行检测，包括工件的光泽、膜层的厚度是否均匀而且尺寸在控制范围之内，以及膜层是否出现分层现象等。如果成形后的膜层出现光泽不均匀、有花纹现象，则有可能是靶材的材质的纯净度不够，含有较多的杂质所致。另外还有一种可能性是涂覆设备出现了问题，没有稳定的工艺环境。出现这种情况，首先要排查是否设备出现了问题，如果不是则必须更换靶材。在设备稳定的情况下，膜层的厚度取决于成形的工艺时间.出现膜层厚度超差一般都是处理时间过长或过短所致，只要调整处理时间就可以解决问题。

dlc涂层的力学性能：（1）硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。（2）内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜基结合强度一般比较低，通过采用TiTiNTiCNTiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N，制备的膜导总体厚度可达5um。DLC涂层具有高硬度、优良的耐磨性和抗腐蚀性等优点。

中山DLC涂层对活塞环摩擦性能的影响采用下图所示的活塞环摩擦力性能测试平台，对比了镀铬和DLC涂层技术对气环和油环摩擦性能的影响。试验结果表明，相比镀铬的气环和油环，采用DLC涂层技术可降低气环和油环的摩擦力。对于DLC涂层的气环而言，在0deg附近改善摩擦的效果较为明显；对于DLC涂层的油环，在180deg−360deg和-360deg—180deg的范围内改善摩擦的效果较为明显。DLC涂层活塞和缸套对发动机性能的影响由于DLC涂层可以有效降低磨损，延长摩擦副使用寿命，因此，可将缸套与气缸制成一体，完全采用DLC涂层铝基底材料，替换原来的铸铁缸套，使重量降低达5%左右；对活塞和缸套进行DLC膜涂层，可使摩擦系数降低20%，同时改善传热性能，终使发动机油耗改善2%-3%左右。DLC涂层具有很高的热稳定性，可以在高温下保持良好的性能。湛江缝纫机配件黑金刚DLC涂层加工厂

类金刚石DLC涂层的制备方法。珠海PVDDLC涂层技术

反响气源的组成对中山DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。首先，原子氢对石墨以及其他非金刚石相碳具有择优刻蚀的效果。堆积金刚石薄膜过程中，在没有超平衡氢原子参与时，甲烷分解为石墨和金刚石键价结构的速率是处于同一个数量级的。可是当甲烷和氢气的混合气体中引入超平衡原子氢后，甲烷的热分解效果和原子氢的刻蚀效果加在一起，就出现了金刚石的成长速率为正，石墨的成长速率为负的情况，即原子氢刻蚀石墨的速度远高于刻蚀金刚石的速度。因而，当反响气源中引入原子氢有利于添加DLC膜中sp3相含量，安稳随机共价键网络，阻止其转化为石墨相。其次，反响气源中氢气比例越高，DLC膜中含氢量越高，越有利于完成超i低突冲系数。经过改变DLC膜中的氢含量，突冲因数可改变几个数量级。珠海PVDDLC涂层技术