南京大楼气体管道设计厂家
日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次:1.超高纯气体,气体中杂质总含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体,气体中杂质总含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体,气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定,都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。应有可靠的泄漏检测系统和应急预案,确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。南京大楼气体管道设计厂家
气瓶间布局,1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体,按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板,其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀,可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上,面板应设计的紧凑而合理,以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成,并且牢固的固定在可靠的位置上,确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。气体管道设计施工根据用气设备的分布情况吗,高纯气体的管网大小长短应适宜,不宜过大或过长。
当供气系统有若干台压缩机组成的时候,储气罐的大小需要基于排量较大的压缩机排量进行选型。这些管路辅件的尺寸选择对整个官网压损有非常大的影响,因为通常系统压损大正是因为辅件选型不当而导致的。下面这个公式可以用于计算供气管网系统在指定允许压损时管路较长尺寸:管网系统总体管路长度 (m); ∆p = 管网系统指定允许的压损 (bar); p = 进气压力(绝压 (bar(a)); qc = 空压机自由排气流量 (l/s); d = 管网管道直径 (mm)供气管网较好采用围绕终端用气点的闭式环形管网设计,然后通过供气支管从环形主管道送往各个用气点。这样的设计实现了单一供气的目的,同时避免了严重的间歇性用气问题,因为气源可以同时从两个方向向用气点供气。除了较大用气点位于离空压机较远的情况,所有供气系统都应该采用此设计。当上述情况出现时,应该用单独的供气管道向较远端的较大用气点供气。
高压储气瓶的使用安全。对于易燃易爆气体、毒性气体、腐蚀性气体等高压储气瓶的运输、贮存、和使用,必须制定严格的管理制度,操作人员上岗应经过严格的培训,了解、熟悉相关气体的特性和安全知识方可上岗。搬运:高压储气瓶在搬运前,应认真检查瓶口阀的完好性,并装好保护帽,运输时要使用专门使用气瓶小手推车,运输过程中要固定好气瓶,不得使气瓶发生碰撞、摩擦,装卸时应轻拿轻放,不得单人操作。贮存:高压储气瓶应贮存在40℃以下的场所,不得受到阳光的直射或风吹雨淋,尽可能存放在湿度低的场所,应远离烟火,不得放置在电缆、电线,腐蚀性化学品附近,不得将可燃性气瓶与氧气瓶放置在一起。同时应竖放,并固定。使用:高压储气瓶在使用时应牢固的固定,不得活动或放倒,气瓶放气时,瓶口阀应缓慢打开,不得急剧开启和过分用力,禁止用手触摸安全阀,禁止从一个高压储气瓶向另一高压气瓶冲灌气体,气体使用完后,应先关闭瓶口阀,卸下减压阀,装好气瓶的安全帽,使用后的高压气瓶必须留有必要的余压,防止渗入空气。氢气管道与其它可燃气体管道交叉敷设时,其间距不应小于0.25m。
气体管道设计规范:1.氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时,应有换气1 - 3 次/h 的通风措拖。2.按标准单元组合设计的通用实验空,各种气体管道也应按标准单元组合设计。3.穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。4.氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上,并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。5.氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。各种气体管道也应按标准单元组合设计。上海隐藏式气体管道设计流程
压力管道拐弯应力集中区应有安全加固,设计合适的拐弯半径,弯曲部位不能有皱折及扭曲。南京大楼气体管道设计厂家
我们拥有专业的设计、研发、工程及技术施工人员。自主设计研发生产,拥有多项国家专利及特气系统施工资质,严格执行国际特气安装标准。一是主管路系统的设计。在确定好气体房和用气点后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定,基本都采用小管径输送(1/4-3/4),而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性,许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里,对于穿墙或穿过夹道的地方,周围有危险源和经常有危险作业的地方,露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。南京大楼气体管道设计厂家
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