内蒙古液态氖气体

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。一种气体元素，无色无臭，不易与其他元素化合。可用来制霓虹灯和指示灯。内蒙古液态氖气体

    并且因此稀有气体回收系统常常并未完全集成到空气分离单元中。例如，通过使来自低温空气分离单元的含氖流通过氖气净化机组，可在空气的低温蒸馏过程中回收氖气，该氖气净化机组可包括产生粗氖产物的不可冷凝物汽提塔和非低温变压吸附系统。然后将粗氖产物传递到氖气精炼厂，在那里通过除去氦气和氢气来处理粗氖气流以产生精制的氖气产品。例如，氖气回收系统具有约80％的中等氖气回收率，因为进料至下游氖气汽提塔的含氖流来自于主冷凝器-再沸器的不可冷凝排放流。原本将用作低压塔中的液体回流的液体流的如此***的缺失对其它产品构成物的分离和回收产生了不利影响。此外，如此低氖气浓度(即，1333ppm)粗产物将在压缩功率和液氮使用方面导致以更高的相关操作成本来产生的精制氖气产品。粗氖蒸气流中的氖气浓度在约％时也相对较低，并且回收系统*适用于具有污浊盘架液体抽出的空气分离单元，其中进料至低压塔的液体回流从高压塔的中间位置取出。需要的是一种稀有气体或不可冷凝气体回收系统，这种系统可产生包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流，并且展示大于约95％的总体氖气回收率，与此同时消耗少的液氮并且对空气分离单元中其它产品构成物的回收的影响小。安徽氖价格用工业气体氖做介质制成的封闭循环式微型制冷机。

    还可将经过冷液氮回流流的其他部分作为回流流引导至低压塔并且/或者将其看作液氮产物流。附图说明虽然本发明的结论是申请人视为他们的发明内容且清楚地指出发明主题的权利要求，但相信本发明在结合附图考虑时将得到更好的理解。其中：图1是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图2是图1的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；图3是具有不可冷凝气体回收系统的另选实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图4是图3的不可冷凝气体回收系统的一个实施方案的更详细示意图；图5是图3的不可冷凝气体回收系统的另一实施方案的更详细示意图；图6是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的又一实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图7是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；并且图8是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图。具体实施方式现在转到图1、图3和图6，示出了通常也称为空气分离单元10的低温空气分离设备的简化例示。从广义上讲，所描绘的空气分离单元包括主进料空气压缩机组20、涡轮空气回路30、增压器回路40、主或初级换热器系统50、基于涡轮的致冷回路60以及蒸馏塔系统70。如本文所用。

    预纯化单元28通常包含根据变温和/或变压吸附循环操作的氧化铝和/或分子筛的两个床，在该吸附循环中水分及其他杂质(诸如二氧化碳、水蒸气和烃类)被吸附。这些床中的一个床用于预纯化该冷却且干燥的经压缩空气进料，而另一个床是利用来自空气分离单元的废氮的一部分再生的。这两个床定期交换功用。在设置在预纯化单元28下游的粉尘过滤器中，从经压缩且预纯化的进料空气中移除颗粒以产生经压缩且纯化的进料空气流29。该经压缩且纯化的进料空气流29在包括高压塔72、低压塔74和任选的氩塔76的多个蒸馏塔中被分离为富氧馏分、富氮馏分和富氩馏分(或氩产物流170)。然而，在这种蒸馏之前，通常将经压缩且预纯化的进料空气流29分成多个进料空气流42、44和32，该多个进料空气流可包括锅炉空气流42和涡轮空气流32。锅炉空气流42和涡轮空气流32可在压缩机41、34和36中进一步压缩，并且随后在后冷却器43、39和37中冷却以形成经压缩物流49和33，这些经压缩物流然后被进一步冷却至主换热器52中的精馏所要求的温度。通过与包括氧气流190的加热流和来自蒸馏塔系统70的氮气流193、195的间接换热来在主换热器52中完成对空气流44、45和35的冷却，以产生经冷却的进料空气流47、46和38。氖一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。

    所述二倍频非线性晶体的相位匹配角为θ1＝90°，φ1＝0°～°。所述三倍频非线性晶体的相位匹配角为θ2＝°～°，φ2＝90°。所述四倍频非线性晶体的相位匹配角为θ3＝°～48°，φ3＝0°。其中θ1、θ2、θ3分别是非线性晶体波矢与晶体光学轴z的夹角，φ1、φ2、φ3分别是非线性晶体波矢在xy平面的投影与x轴的夹角。在本公开实施例中，如图3所示，311为基频激光源，输出波长为1064nm。321为二倍频非线性晶体，用于将1064nm倍频后产生532nm的激光输出。322为三倍频非线性晶体，用于将1064nm和532nm三倍频后产生355nm的激光输出。323为四倍频非线性晶体，用于将532nm倍频产生266nm的激光输出。各个非线性晶体均固定在精确温度控制的温控炉内，温控炉统一由驱动控制器控制温度要求。光路中各个非线性晶体均固定在比较好频率转换的位置以及晶体内的光斑半径也为比较好值，即均在比较好的频率转换条件下。且321二倍频非线性晶体比较好工作温度设为148℃，322三倍频非线性晶体比较好工作温度设为60℃，323四倍频非线性晶体比较好工作温度设为25℃。晶体的比较好工作温度和晶体的相位匹配角度有关，相位匹配角度不同对应的温度不同。在贮运过程中应轻装轻卸，严防容器碰损。宁夏工业氖是什么

氖与氩混合可用来充填闸流射电管。内蒙古液态氖气体

    或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的单元。在图7和图8的实施方案中，冷凝器-再沸器520、620是双级冷凝器-再沸器，该双级冷凝器-再沸器提供双级别致冷以将来自不可冷凝物汽提塔510、610的大部分塔顶馏出蒸气529、629部分冷凝。图7所示的回流冷凝器-再沸器520被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔510的包含氖气和其他不可冷凝物的塔顶馏出气体529、包括从空气分离单元10的氮气过冷器转移来的釜沸腾流的冷凝介质522、以及包括经由经过冷液氮回流流的阀546的节流部分的第二冷凝介质548。该双级回流冷凝器-再沸器520被构造成产生作为回流返回到不可冷凝物汽提塔510的液氮冷凝物流545、被引导至空气分离单元10的氩冷凝器78的双相汽化流525、以及被从冷凝器-再沸器520的顶部抽出并且包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流550。该粗氖蒸气流还可包含大于约10％摩尔份数的氦气。将汽化流549从相分离器544中移除并进料至废物流93中。与其他上述实施方案一样，例示的不可冷凝气体回收系统的总体氖气回收率高于95％。所描绘的不可冷凝气体回收系统的附加有益效果是液氮消耗低，并且由于大量液氮被再循环回到低压塔。内蒙古液态氖气体