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按照《从硅片切割加工副产物中回收碳化硅的方法》提供的技术方案,硅片切割加工副产物经混合均匀后,加入分离剂,用量为5~50%,混合温度为常温或在50℃~80℃(提高温度可以提高效率);用传送机械送入机械分离器,机械分离器的操作温度为5~80℃;由机械分离器获得50~95%的富碳化硅浆料和5~50%的贫碳化硅悬浮液;富碳化硅浆料再进行多级机械分离,获得的高纯度碳化硅浆料再由机械分离去除切割液及分离剂,然后进行碱洗、酸洗和清洗,所得碳化硅湿料经烘干、分级后,得高纯度碳化硅产品。硅片回收应用于什么样的场合?姑苏区卓晟硅片回收
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产商必须平衡这些相关的因素使生产力达到比较大化。更高的切割速度和更大的荷载将会加大切割切割线的拉力,增加切割线断裂的风险。由于同一硅块上所有硅片是同时被切割的,只要有一条切割线断裂,所有部分切割的硅片都不得不丢弃。然而,使用更粗更牢固的切割线也并不可取,这会减少每次切割所生产的硅片数量,并增加硅原料的消耗量。硅片厚度也是影响生产力的一个因素,因为它关系到每个硅块所生产出的硅片数量。超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战,因为其生产过程要困难得多。除了硅片的机械脆性以外,如果线锯工艺没有精密控制,细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生负面影响。超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力、以及切割冷却液进行精密控制。
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