天津干式螺杆真空泵

在多晶硅制备、半导体刻蚀等工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，除半导体的某些产品需要微粒的工艺外，一般不希望微粒混入泵油中，而希望将微粒排出泵外，干式螺杆真空泵能够满足要求。常用真空泵包括干式螺杆真空泵，水环泵往复泵，滑阀泵旋片泵，罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力，近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。华中真空多年来“以质量为先导，以微利求生存”，重合同，守信用。天津干式螺杆真空泵

干式真空泵采用干式工作原理，即在泵腔内不含液体和油脂，通过机械运动将气体排出。干式真空泵具有以下优势：无油无液，干式真空泵不需要使用油或液体作为密封介质，因此可以避免油污染和泄漏的问题。无污染，式真空泵不会产生油雾和污染，适用于对环境要求高的应用领域。维护简单，干式真空泵结构简单，维护方便，使用寿命长。适用范围广，干式真空泵适用于各种真空应用领域，如电子、半导体、医疗、化学、制药等。总之，干式真空泵具有无油无液、无污染、维护简单、适用范围广等优势。天津干式螺杆真空泵华中真空设备注重自身科技硬实力打造，服务文化软实力提升！

而且干式真空系统具有：运行效率高，运行能耗低，污水尾气近零排放，醇酮回收洁净，回收成本低、效率高等优点。设备利用干式变螺距螺杆真空泵，其转子与泵体采用较小间隙设计，无摩擦、噪音小、变螺距、工作腔无需密封水或密封油、功耗低、真空高。轴端采用无泄漏无磨损复合密封，轴承润滑油不易乳化，使用寿命长。这种泵也类似罗茨泵型式，两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上，由转子旋转过程中自动开关，它属于旋转式容积真空泵。华中真空设备厂家在线提供技术支持。

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蒸汽冲洗就是一种去除残余压缩气体物质的有效方法。如果积聚残余压缩物质时，请确保干式螺杆式真空泵不会给电机旋转产生太大压力。特别是对一些活泼性的物质，如低聚物、单体、聚合物、树脂等正确冲洗加以去除，有很好的效果。罗茨真空泵和干式螺杆真空泵相似的地方主要体现在应用领域上，它们都可以用在真空冻干、电力电子行业、光伏太阳能、薄膜蒸发、抽高温气体、抽蒸汽、单晶硅、灯泡灯管制造（气体置换）、焊接炉、核能工业、化工、金属工业等工业领域中。螺杆真空泵是干式真空泵的一种，抽气过程可分为吸气过程、输送过程、压缩过程和排气过程。天津干式螺杆真空泵