西安主动式微振基台生产

    1、EQID：2AFC111#栋ARRAY洁净室CVD设备2、防微振等级：承重台3、尺寸：长9096mm*宽9057mm*4004、防微振平台表面导静电环氧自流平，电阻值*104-6Ω5、平整度要求：平整度≤±3mm，whole＜±5mm，foot:：*≤±2mm，脚位间≤±3mm；6、机台采用标号C30及以上混凝土（商品混凝土）7、开孔需求：有8、满足工艺设备搬入时间：、平台施做前承包商需提前勘察华夫板平整度，若华夫板平整度较差由本承包商提前处理，以确保平**成面与四周高架地板齐平；10、包含不限于高架地板（含基座）拆除并运送至指定位置、华夫板破损环氧修补、防微震平台与高架地板缝隙收边、将防微振平台表面预留静电接地铜箔与洁净室防静电网对接、防微振平台表面平整度测试、防微振平台导静电环氧电阻值测试、防微振平台防震等级测试等。包含如下事项：1、产尘作业搭设洁净棚，配备洁净室**吸尘器；2、施工现场6S维护；3、高架地板拆除后拆除区域铺设防坠网，防微振平台安装前拆除防坠网；4、防微振平台落坑处高架地板脚架增加斜撑补强，材料由甲方提供，承包商负责运输、安装及拆除；5、其他洁净室施工防护措施-洁净施工棚搭建等。 防微振平台的安装非常重要，选择正确的安装方式和位置可以有效地提高减震效果，保障设备和建筑物的安全。西安主动式微振基台生产

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