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所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型一种实施方式的真空反应腔室，其结构如图1和图2所示，包括：用于提供真空环境的外腔体10，以及位于所述外腔体10内的用于进行工艺反应的内反应腔20；所述内反应腔20的侧壁上设有自动门23，所述自动门23连接自动门控制器，工件自所述外腔体10经所述自动门23进入所述内反应腔20中。本实施方式提供的真空反应腔室，外腔室和内反应腔20为嵌套结构，其内反应腔20位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体10用于隔绝大气，提供真空环境，而内反应腔20中的区域为工艺反应区，形成相对封闭的工艺环境，相关工艺反应在内反应腔20中进行。由于采用双腔室结构，可以将工艺模块部件设置于内反应腔20中，而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后，位于外腔体10中的工件再经自动门23进入内反应腔20中进行工艺反应，可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔20中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，AR反射膜，有需要可以咨询！上海靶材真空镀膜机厂家

提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中：1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1、图2，本实用新型提供一种技术方案：一种磁控溅射真空镀膜机，包括控制箱1，控制箱1的上表面后侧固定安装后罐体3，后罐体3的前表面铰接有前罐体2，后罐体3的前表面上侧固定安装有驱动装置5，驱动装置5，驱动装置5的下侧安装有清理装置4，清理装置4包括u形架44，u形架44的下端通过轴承转动安装在后罐体3的内部下侧，u形架44的外侧固定安装有刮板43，刮板43的外侧与后罐体3、前罐体2的内表面紧密贴合，后罐体3和前罐体2的上表面外侧均匀开设有通孔41。浙江锅胆镀钛真空镀膜机厂商宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，五金镀膜，有需要可以咨询！

以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成，其中，第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成，例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外，外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板，真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围，且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间，该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构，以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中，宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相互密闭连接共同构成了与外部大气隔离的具有封闭结构的外腔体10。而内反应腔20则位于该外腔体10之内，但是第二侧壁22与密封盖板30之间并未形成封闭式接触，两者之间属于分离式设计结构。该结构也就使得外腔体10与内反应腔20之间在仍属于相互连通的结构构造，用该结构可以将真空设备中的部分构件分离，将工艺过程中非必要的机械结构部件设置于外腔体10中，而与工艺反应相关的结构部件设置于内反应腔20中。在工艺反应过程中，由于工艺反应区的压力要大于外腔体10中的压力。

影响工作效率的问题。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种高分子等离子表面真空镀膜设备，包括腔体、基板和坩埚，所述腔体底部的四角均固定连接有支撑腿，并且腔体的正面转动连接有密封门，所述腔体内壁两侧之间的底部固定连接有支撑板，并且支撑板的顶部固定连接有防护框，所述防护框内壁的两侧均固定连接有宝来利真空滑轨，并且两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有活动板，所述腔体内壁的底部固定连接有宝来利真空伸缩杆，所述宝来利真空伸缩杆的顶端贯穿支撑板和防护框并延伸至防护框的内部，所述宝来利真空伸缩杆输出轴的一端且位于防护框的内部与活动板的底部固定连接，所述腔体内壁的两侧均固定连接有第二伸缩杆，所述防护框顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖和第二密封盖，并且宝来利真空密封盖和第二密封盖相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆的输出轴固定连接。推荐的，所述活动板的顶部固定连接有加热板，所述防护框内壁的底部且位于宝来利真空伸缩杆的表面固定连接有降温板。推荐的，所述腔体左侧的顶部固定连接有电机，并且电机输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆。推荐的。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，镍铬，有需要可以咨询！

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本实用新型涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜设备。背景技术：真空镀膜机要求在真空环境下进行镀膜，在镀膜室进行蒸镀后，镀膜室中残留的部分未蒸馏到薄膜上的蒸汽遇冷会形成粉尘，而粉尘在别真空泵抽走后，会堵塞真空泵，影响真空泵的使用以及容易损坏真空泵。现有的真空镀膜机，在除粉尘时，多利用负压作用将出气口上的顶盖打开，并利用弹簧的弹力盖紧顶盖，但在打开时需要较大的压力才能顶出顶盖，而真空镀膜设备通过弹簧盖紧顶盖，容易出现盖不紧的情况，导致镀膜机内真空度不够，影响镀膜的过程。技术实现要素：本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种密封性良好且能够除尘的真空镀膜设备。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种真空镀膜设备，包括镀膜机；所述镀膜机底部设有出气管；所述出气管上设有宝来利真空连接套；所述宝来利真空连接套上设有第二连接套；所述第二连接套中设有顶盖，所述顶盖与所述宝来利真空连接套之间通过磁吸连接；所述第二连接套远离所述镀膜机一侧设有抽气管；所述抽气管远离所述第二连接套一侧设有真空泵；所述抽气管内靠近所述真空泵一侧设有宝来利真空过滤网。上海靶材真空镀膜机厂家