光刻机隔振台激光设备主动防震应用

1、使用2mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。2、根据扫描电镜的重量调整模块。在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在中间止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm3.装回模块上的端板主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。光刻机隔振台激光设备主动防震应用

AVI-600/LP的每个单元均可调节，以适应0至600kg的负载。对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载，可在+/-90kg之间变化，而不必重设调整。手次操作系统时，请将前面板隔离开关设置为OFF（黑色旋出）。接通电源。电源指示灯现在将点亮，并且24个显示LED将短暂闪烁。黄色的使能LED将以大约2Hz的频率闪烁。如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上，则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后，您可以将隔离开关推到ON位置（红色旋钮进入）。黄色LED现在将勇久保持亮起，表明系统处于隔离。蔡司电子显微镜隔振台服务为先在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境。

TS特点：◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用

水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。

TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点：・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）-加速度信号可以从外部输出。（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。欧洲隔振台可以免税吗

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。光刻机隔振台激光设备主动防震应用

AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：蕞多800kg）型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP系统形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态尺寸：120×396×130×636×130×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重：400kg单位重量：约9kg联络我们电源电压：95-240VAC50-60赫兹耗电量：普通9W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。光刻机隔振台激光设备主动防震应用