盐城光谱共焦位移传感器供应

时间:2024年06月26日 来源:

6.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱仪包括有机壳,固定设置在机壳中并位于所述接收光纤出光端的轴向上且用于对反射光进行色散的棱镜组,固定设置在所述棱镜组的出光端并用于对色散后的光进行聚焦的聚焦透镜组,所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根据权利要求6所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组,所述准直透镜组设置在所述接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。该传感器可用于微纳制造、生物医学、半导体制造等领域中的精密测量。盐城光谱共焦位移传感器供应

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采用入射光纤和接收光纤分离的方式,发射光和反射光从不同的光路中传输,从而避免光线在传输过程中产生内部干扰,提高了光谱共焦系统的信噪比;而且通过设置发射光和反射光的单独通道,光路更顺畅,发射光和反射光分别在入射光纤和接收光纤中传播时不会出现自身反射,从而避免光信号的干扰和能量损失。而传统的光路设置过程中,采用的是Y型光纤,入射光纤和接收光纤在探头内耦合成一条光纤,形成Y型光纤,这样会产生内部串扰,降低信噪比,影响有效信号的提取和整个系统的稳定性。而本方案中的入射光纤和接收光纤单独进行设置,可以避免传统Y型光纤的问题,使光的传播更加稳定。盐城光谱共焦位移传感器供应光谱共焦位移传感器是一种高精度具有广泛的应用前景。

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接收光纤,所述接收光纤的入光端固定设置在所述光谱共焦位移传感探头内,所述接收光纤的入光端用于选择性的接收所述光谱共焦位移传感探头传导的被测物体的反射光;光谱仪,所述光谱仪固定连接所述接收光纤的出光端,所述光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。2.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱共焦位移传感探头包括有:探头壳体,所述探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接;半透半反光学镜,所述半透半反光学镜固定设置在所述入射光纤的出光端的正下方;反光镜,所述反光镜固定设置在所述探头壳体的内侧壁上,所述反光镜用于反射所述半透半反光学镜所发出的反射光,所述接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。

激光位移传感器的工作原理是利用激光发射光束投射到被测物体表面,接收反射光并将光信号转换为电信号输出,从而获取被测物体空间位置信息。根据激光源发射光束的不同,激光传感器可分为点、线两种。点激光位移传感器在一个采样周期内只能获得被测量的一维信息,使用时通常依托于三坐标测量机或三坐标机床等设备,通过设备机械运动及传感器同步扫描来获取被测物体三维信息。因此,激光位移传感器在精密测量领域有着广泛的应用。。。光谱共焦位移传感器具有高精度、非接触式、抗温度、抗振动等优点。

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传统的光谱仪中,还可采用光栅进行分光,与棱镜组相比,光栅分光的光能量损失较大,对于光谱共焦系统,finally照射到光谱仪的感光器件上的efficient光谱仪中,还可采用光栅进行分光,与棱镜组相比,光栅分光的光能量损失较大,对于光谱共焦系统,finally照射到光谱仪的感光器件上的有效光能信号很弱,影响测量精度和效果。光谱仪还包括有用于对反射光进行准直的准直透镜组,准直透镜组设置在接收光纤的出光端与棱镜组之间。通常光线是发散的,即开始相邻的两条光线传播后会相离越来越远,通过准直透镜组对反射光进行准直,可以让多色光平行射入棱镜组。平行光束的方向稳定性高,在接收平面上能形成稳定的中心,有利于后续对各色光进行色散。光谱共焦位移传感器需要专门的光谱共焦显微镜来实现测量。天津原装光谱共焦位移传感器

该传感器的应用将有助于提高微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量的准确性。盐城光谱共焦位移传感器供应

本实施例中的光谱共焦位移传感探头还包括有提示组件,光源耦合器作为单独结构与探头壳体分开设置。提示组件包括在光源耦合器内,通过卡扣可拆卸设置,用于产生提示光的发光件;发光件也可直接固定在光源耦合器内。发光件为双色LED灯,也可为其他可见光光源,当探头操作正常且被测物体在有效测量区域时,由控制系统发出控制信号点亮发光件,发光件发出绿色光,提醒使用者操作正常,可以继续操作。当探头操作不正常或被测物体不在有效测量区域时,由控制系统发出控制信号点亮发光件,发光件发出红光,提示使用者操作出现问题,需要更正。发光件发出不同颜色的光便于使用者了解探头的使用情况,增加便利性。盐城光谱共焦位移传感器供应

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