苏州碳化硅多孔陶瓷吸盘采购

时间:2023年02月23日 来源:

在进行解键合工艺时会用多孔吸盘来吸附100um厚度的半导体晶圆,此项工艺作业时会将键合粘结剂与键合wafer上的金属残留在多孔吸盘上。残留的有机粘结剂杂质在温度120℃时处于完全液态,易被吸附进多孔吸盘的孔洞内,而其中无机物金属颗粒(例如ni-auge合金)通常是附着在多孔吸盘的表层。有机粘结剂在加热状态下液化,受真空吸附力影响会流动到多孔吸盘的孔洞内,金属颗粒会在此加热状态下进行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金属结合力会增强,从而造成有机粘结剂在多孔吸盘的孔洞内和表面存在,合金化金属覆盖在有机粘结剂表面并将有机粘结剂进行包裹。陶瓷吸盘的优点:防止吸收轨迹。苏州碳化硅多孔陶瓷吸盘采购

一种陶瓷吸盘及其制备方法,其中,制备方法包括,获取待打印的凸点的三维模型;将基体放置在3D打印设备的工作台上,固定;根据凸点的三维模型,利用3D打印设备将陶瓷料浆打印在基体上,得到陶瓷吸盘的凸点;烧结,即得到陶瓷吸盘。采用3D打印技术将凸点打印在基体上,提高了陶瓷吸盘上各凸点规格的一致性,同时提高了制备效率。制备方法包括:获取待打印的凸点的三维模型;将基体放置在3D打印设备的工作台上,固定;根据凸点的三维模型,利用3D打印设备将陶瓷料浆打印在基体上,得到陶瓷吸盘的凸点;烧结,即得到陶瓷吸盘。无锡多孔陶瓷吸盘供应报价加工工艺是保证陶瓷吸盘质量的前提。

陶瓷吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台,经过特殊的纳米粉体工艺制作而成,通过高温烧结在材料内部彼此连接或闭合。公司生产的微孔陶瓷吸盘可以和国内外主流设备配套使用,具有优越的性能。陶瓷吸盘的主要特点:孔径分布均匀,组织致密均匀,颗粒粗细均匀,透气性好,吸附力均匀,表面光滑平整。多种孔径规格可选,方形\圆形可选。可加工2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半导体片,可配套减薄机、划片机、清洗机等设备。

多孔陶瓷真空吸盘的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内,通过微小的气孔把空气吸出,便加工物紧贴在陶瓷面上,能够减少吸附面对高精度材料的应力磨损,其稳定均匀的吸附力适合固定很薄的加工物,如晶圆片、玻璃和柔性屏等;传统的孔陶瓷真空吸盘不能根据吸附物的直径大小进行更换合适的孔陶瓷真空吸盘,吸附不够稳定,吸附物容易掉落损坏,增加生产成本,因此,本实用新型提出一种多孔陶瓷真空吸盘以解决现有技术中存在的问题。多孔陶瓷真空吸盘通过安装机构,安装机构具有更换陶瓷吸盘的功能,使用者可以根据吸附物的直径大小进行更换合适的陶瓷吸盘,提高了吸附的稳定性,防止吸附物掉落损坏,降低了生产成本。陶瓷吸盘使用的特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米。

陶瓷真空吸盘特性:陶瓷区域内吸附:同一陶瓷面积上,可放置大小不等的工件做吸附功能。高耐热性:因是高温烧结而成的物质,本身具有耐高温的特性。耐化学腐蚀性:惰性材料,对酸碱等反学反应弱。耐磨损性:具有陶瓷坚硬的特性,耐损耗,可长期使用。轻量:内部结构均匀气孔,比重系数为1.6-2.8。绝缘性能高:绝缘材质,消散静电特性。无粉尘:完全烧结,无粉尘。应用领域: 吸取平面工件专属陶瓷真空吸盘模组;吸附达一半面积就不会破真空状况,达到同一模组可吸取各式工件;适用于机台制作或工厂生产、组装或自动化企业的干净环保。要想加工一块质量好的陶瓷吸盘需要一名熟练的操机师傅。安徽微孔陶瓷吸盘哪里买

陶瓷吸盘与其它过烤材科相比,微孔陶瓷吸盘的孔隙率很高。苏州碳化硅多孔陶瓷吸盘采购

陶瓷吸盘比较早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的,这种陶瓷吸盘由中间的多孔陶瓷和边缘的密封环组成。工作时利用多孔陶瓷上小孔将晶圆与陶瓷表面之间的空气抽出,晶圆由于负压被吸附在吸盘表面,从而固定。等到加工结束后,内部的等离子水会从陶瓷表面孔内流出,使晶圆较好的剥离且同时清洗表面。虽然陶瓷吸盘在精密磨削加工中应用普遍,但这种方法明显的缺陷是,当晶圆被陶瓷吸盘吸附在吸盘表面时,晶圆会由于空气压力或者有微小颗粒吸入使局部变形,从而影响表面平整度,使加工精度下降。另外,晶圆的一些加工步骤需要在真空环境下进行,而陶瓷吸盘在真空环境下则完全无法工作,这种情况下只能选择其他的夹持方式来固定晶圆。苏州碳化硅多孔陶瓷吸盘采购

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