浙江工业级BOE蚀刻液推荐厂家

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    该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为总质量的％、％。实施例2本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％。实施例3本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为三甘醇单丁醚、月桂酰氨乙基硫酸钠，添加量分别为总质量的％、％。实施例4本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为二乙二醇单甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分别为总质量的％、％。实施例5本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中，该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。山东如何分类BOE蚀刻液生产使用BOE蚀刻液需要什么条件。

    硝酸是一种强氧化性、腐蚀性的强酸。硝酸易溶于水，常温下其溶液无色透明。其不同浓度水溶液性质有别，市售浓硝酸为恒沸混合物，质量分数为（约16mol/L），质量分数足够大（市售浓度为95%以上）的，称为发烟硝酸。硝酸易见光分解，应在棕色瓶中于阴暗处避光保存，也可保存在磨砂外层塑料瓶中（不太建议），严禁与还原剂接触。化学式是HNO3，浓硝酸与浓盐酸按体积比1:3混合可以制成具有强腐蚀性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮（N2O5）。产品名称电子级硝酸英文名Nitricacid产品规格EL/UP/UP-S/UP-SS/UP-SSSCASNO7697-37-2包装形式4L/桶、20L/桶、200L/蓝圆桶、1000L/桶、槽车分子量质保期6-12个月分子式HNO3InChIInChI=1/NO3/c2-1(3)4/q-1/p+1ECNO231-714-2。

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缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜。它是氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)等缓冲液的混合物。浓缩的HF蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。BOE6:1is6partsbyvolume40%ammoniumfluorideand1partbyvolume49%HF.应用缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6：1可用于栅极光刻(gatephotolithography)的AlGaN/GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。浙江工业级BOE蚀刻液推荐厂家