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所述控制器用于控制减薄处理过程,具体的,在所述玻璃加工治具4从所述冲洗区2移动至所述腔室31内合适位置时打开所述喷淋组件33进行减薄处理操作,并在由所述主厚度测量仪32测得的玻璃厚度达到目标厚度时关闭所述喷淋组件33停止对玻璃进行的减薄处理,以及在减薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述冲洗区2移动。所述控制器在喷淋减薄过程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31内的往复移动。一般的,所述喷淋组件33包括设置于所述腔室31顶部的喷淋头、设置于所述腔室31底部的收集槽、以及与所述喷淋头、所述收集槽均连通的外部喷淋液管路,通过所述喷淋头对所述玻璃加工治具4上的玻璃喷淋喷淋液从而实现玻璃的减薄处理,所述收集槽收集减薄处理后的喷淋液并传输至所述喷淋液管路从所述腔室31内排出。在经历过减薄处理的玻璃从所述转换区1被卸载之后,将容纳玻璃的下一个玻璃加工治具4通过所述转换区1加载到所述腔室31中并且如上所述经历减薄处理。通过以上操作,玻璃顺序地经历减薄处理。值得指出的是,通过所述主厚度测量仪32测量在所述蚀刻区3中经历过减薄处理的所述玻璃厚度达到指定尺寸后再通过所述传输组件将玻璃卸载到所述腔室31外部。具体地。合肥显示面板用减薄用清洗剂商家减薄清洗剂,让您的产品更加精致,提升市场竞争力。
实现玻璃与喷淋液充分均匀接触的同时,控制玻璃的摆动幅度,提高玻璃在减薄过程中的安全性。实施例六所述主厚度测量仪32与所述蚀刻区3的内壁相邻,并且具有滑动结构以移动到竖直容纳在所述玻璃加工治具4内的玻璃之中的靠外玻璃附近,从而便于对玻璃厚度进行检测;具体的,在所述控制器的控制下,所述主厚度测量仪32通过向玻璃发射激光束来实时测量玻璃厚度并且在玻璃正经历滑动处理的同时将关于测得厚度的信息发送到所述控制器;所述控制器实时将预设的目标厚度与从所述主厚度测量仪32接收的测得玻璃厚度进行比较。如果确定从所述主厚度测量仪32接收的测得玻璃厚度达到目标厚度,则所述控制器停止减薄处理等操作,并且将所述玻璃加工治具4向所述冲洗区2移动。较佳的,所述主厚度测量仪32可包括:发射器,其用于发射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且计算玻璃厚度。所述主厚度测量仪32还可包括空气喷射器,用于将空气喷射到玻璃的将被暴露于从发射器发射的激光束的那部分。在通过发射器发射激光束之前,所述主厚度测量仪32控制所述空气喷射器。
将待加工部件固定在托盘上包括:采用光刻胶将待加工部件固定在托盘上。具体地,将待加工部件背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶,如az4620光刻胶,然后在托盘表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶,如az4620光刻胶,之后,将托盘光刻胶面向上放于温度为90℃的热板上,将待加工部件光刻胶面和托盘光刻胶面贴合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar压强于待加工部件上进行键合,键合时间20min。s102:通过喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,来对待加工表面进行抛光;s103:通过磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨,来对待加工表面进行减薄。可选地,本发明实施例中,s102和s103可以交替进行,也就是说,控制磁转子旋转一段时间后,控制磁转子停止旋转,并控制喷头喷涂抛光液,停止喷涂抛光液后,再次控制磁转子旋转,以此类推。本发明实施例中,通过磁转子和喷头交替工作,实现了减薄和抛光两种工艺交替作用,使得减薄和抛光一体化完成,整个过程稳定,速度快,控制性好,重复度高,无粉尘污染,衬底减薄终厚度达到20μm,抛光面ra<2nm。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转,因此,可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力。如何正确使用减薄用清洗剂的。
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通过旋紧螺钉使螺钉的端头部分与所述支撑条431或所述第二支撑条432接触,从而实现对所述连接部433的固定,避免所述连接部433在振动时发生脱离等情况。同时螺钉的设置,可实现所述底支撑件43结构的快速装卸,便于维修更换。值得指出的是,为达到防止所述连接部433脱离的效果,所述限位块438和所述第二限位块439并非于设置为螺钉,通过在所述限位块438和所述第二限位块439的端部设置横截面合适的部件,使所述限位块438、所述第二限位块439与所述连接部433卡接,即可实现螺钉的效果。所述接触部434设置有弧形槽,玻璃的下边缘设置于所述弧形槽内,从而实现所述底支撑件43对玻璃的位置固定。在进行减薄或其他加工过程中,玻璃通过所述玻璃加工治具4进行移动或放置时,均会产生振动;同时在进行蚀刻冲刷时,在酸液冲击的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃产生弯曲,通过所述底支撑件43的结构设置,可实现设置于所述接触部434上玻璃的悬浮柔性支撑,有效缓冲玻璃所受到的外界压力或冲击力,避免振动或冲击对玻璃带来的损伤;同时可有效降低所述玻璃加工治具4往复移动带来的振动,使玻璃底部在所述连接部433的限制下进行小幅度的移动,在保证玻璃在所述玻璃加工治具4上有效摆动。上海显示面板用减薄用清洗剂产品介绍
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