江苏高纯特气管道安装连接图

施工管理和现场施工的注意点：（1）项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。（2）特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序。江苏高纯特气管道安装连接图

以下是特气管道安装的一般步骤：1. 压力测试：在安装完成后，需要对管道进行压力测试，以确保管道的密封性和牢固性。测试压力要高于正常使用压力，以确保管道在正常使用时不会出现泄漏。2. 气体纯度测试：在安装完成后，需要做气体纯度测试，以确保气体的纯度符合实验要求。可以使用气体纯度分析仪等设备进行测试。3. 标识和标签：特气管道需要进行明确的标识和标签，以确保管道的使用和维护的安全性和可靠性。4. 维护和保养：特气管道需要定期进行维护和保养，以确保管道的密封性和可靠性，以及及时发现和处理管道故障。上海氨气特气管道安装规范项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训。

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。管道与配件及设备连接安装 对于输送易燃、剧毒特殊气体的双层管道，其与阀门、气表及设备连接采用金属垫片面密封接头（VCR）安装，金属垫片采用柔性镍合金垫片，确保密封严密。管道安装 双层管道焊接碰头然后接口处，采用增加末端滑套的安装方式在三层管道接头处实现管道密封，从而使外层套管形成一个整体。特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。特气管道工程施工注意事项：不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准。常州特气管道安装注意事项

管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。江苏高纯特气管道安装连接图

特种气体系统工程施工应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB50235、《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB 50184、《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》GB 50236和《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB50683 的有关规定。特种气体系统使用的不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气保护。10.1.3安装和试验检测用计量器具应经检验合格并在有效期内使用。10.1.4特种气体系统工程施工前应编制专项施工方案，并应经业主审批后实施。10.1.5主要设备材料进场应提供下列文件：1 产品合格证、质量保证书、性能测试报告；2 产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；3 产品规格、型号、数量、设备附件及专门使用工具。江苏高纯特气管道安装连接图

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