矿用气体管道设计

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。矿用气体管道设计

助燃气体，对于氧气或氟系助燃气体，只要与油脂类物品接触，就会氧化发热，以致燃烧爆裂，所以凡是氧气管道、阀门或设备、附件等均应禁油，氧气管道系统应采用专门的禁油阀门、附件和管材，并在氧气输送系统安装后均应按规定进行脱脂处理。为防止由于静电产生火花引起燃烧爆裂，氧气管道应采取以下措施：①氧气管道内氧气流速限制：当氧气工作压力≥10MPa时，氧气流速不应大于6m/s；当工作压力为0.1～3MPa时，不应大于15m/s；当工作压力≤0.1MPa时，应按其管道允许压力降确定。②氧气管道的弯头、三通等接头的材质选择、安装均应按规定进行，③氧气管道应采取导除静电接地措施。盐城气体管道设计厂商放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。

这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上，应注意哪些要点？GP在管道设计上是如何实施？高纯气体管路设计要点：01气体特性，了解气体特性，规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离，管路设计需要考虑输送至用气点的距离，距离越长，成本越高，风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。管道系统应有维护保养的方便性，包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。

医用气体的基本种类及用途，医用气体的基本种类为医用氧气、负压吸引、压缩空气、氮气、笑气（N2O）及二氧化碳等气体。氧气主要用于一般病人吸氧，危急病人吸氧（呼吸机）及用于药物的雾化等；负压吸引主要吸痰、脓及血液之用；压缩空气用于口腔设备及作为呼吸机动力（混合气体用）；氮气作为手术气动工具的动力；笑气（N2O）用作为手术时的麻醉气体。二氧化碳气用于腹腔充气及试验室培养细菌。通过医疗气体中心管道系统工程的公道设计，使医院能以较低的投资获得一个功效强大的供气系统，确保医院的医疗系统高效运行。阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。常州隐藏式气体管道设计

氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。矿用气体管道设计

输送距离和路线，在确定输送方式和所需动力时，除按输送距离合理选择输送方式外，对输送路线亦需进行合理布置，因为气力输送系统随管道的布置不同，所需功率或输出能力差别很大。吸气口、排气口以及检查孔，吸气口、排气口和检查修理孔必须不受外部灰尘、雨雪等的侵入，排气口的含尘量不应超过规定值，要根据情况安排灰尘滤清器和除尘装置。压气机械的噪声主要产生在吸气口和排气口，并且具有方向性。根据周围的情况，在需要降低其噪声时，可以把压气机械安置在单独的屋内，或采用适当的消声器，也可以将排气排入专门的隔离室或朝向周围不受噪声影响的地方。矿用气体管道设计

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