南京特种气体管道设计服务商

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。南京特种气体管道设计服务商

高纯气体管路的设计要点：1.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。2.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。南京特种气体管道设计服务商应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。

压送式，压送式气力输送系统是靠压气机械产生的正压气流化输送管道中进行输送。如图1.2.2.0所示，物料的输送过程是在压气机械的压气段一侧完成的。1一回转式供料器；2一罗茨鼓风机；3一料斗；4一输料管；5一旋风分离器；6一料仓。该系统具有以下特点：1 适合于大流量、长距离输送；2 卸料器结构简单；3 能够防止杂质和油、水浸入系统；4 容易造成粉尘外扬。压送式气力输送可分为低压压送式、中压压送式和高压压送式三类。1) 低压压送式用中速气流在管路系统中悬浮输送物料，操作表压一般为82 kPa以下，较高约达100 kPa。2) 中压压送采用低速气流，操作表压可达310 kPa。3) 高压压送也采用低速气流，操作表压可达860 kPa。混合式，混合式气力输送是吸送和压送两种方式组合在一起而构成的，该系统具有两者的共同特点，较适宜于长距离输送物料。除了以上三种气力输送系统外，还有一些特殊类型的气力输送系统，如脉冲栓流式、文丘里供料式低压压送系统、循环输送式、空气槽等。

这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上，应注意哪些要点？GP在管道设计上是如何实施？高纯气体管路设计要点：01气体特性，了解气体特性，规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离，管路设计需要考虑输送至用气点的距离，距离越长，成本越高，风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式。

气路的布线：1. 应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专门使用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。2. 配管时的每根管道每个管件均要用高压的5N高纯氮气进行吹扫才能接入系统，整个系统安装完毕后还要用5N的高纯氮进行大流量气体吹扫，以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。3. 系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验，对整个系统进行检测。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。杭州氨气气体管道设计服务商

所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。南京特种气体管道设计服务商

高纯气体的供气安全，各种特性气体的使用安全，易燃易爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆裂混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆裂事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的较低处。③可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。南京特种气体管道设计服务商

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