铝合金特气管道安装连接图

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录。铝合金特气管道安装连接图

特气管道工程安装注意事项有哪些？现在市面上的特气管道供应商非常的多，但是大多数的气体管道厂商只是提供产品，并不包括安装这一方面。大多数人是不知道正确安装的，下面就会为大家具体的来介绍注意事项有哪些。1、 特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。2、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。台州实验室特气管道安装特气管道安装可以家庭设备的安全使用，正确的管道安装可以管道系统的流畅运作，防止漏水、渗漏等问题。

施工管理和现场施工的注意点：现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好;(管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。选择特气管道工程安装公司的标准：十几年行业经验，技术的积累。

特种气体管道安装要求说明：1）不锈钢，合金钢螺栓和螺母；2）管道设计温度高于50°C或低于0°C;3）室外安装;4）大气腐蚀性环境中或输送腐蚀性介质的管道。合金钢管道不应焊接临时支撑物。如有必要，请遵守相关的焊接规定。安装不锈钢管时，请勿用铁工具敲打。对于法兰上使用的非金属垫片，氯离子含量不得超过50ppm；对于连接到机器的管道，固定焊缝应远离机器。当>6000r/min时，位移值应小于0.02mm，速度应小于6000r/min，位移值应小于0.05mm。管道，法兰和机器法兰应保持平行和同轴，允许偏差不得超过设计文件或规定的要求。应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择。苏州氩气特气管道安装价格

弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。铝合金特气管道安装连接图

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。铝合金特气管道安装连接图