江苏室内气体管道设计注意事项

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。江苏室内气体管道设计注意事项

气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。舟山气体管道设计价格氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它管道上。

高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。

有一种极端应用是在很短的时间内需要大量的压缩空气，这种极端应用模式通过压缩机的选择或管还有一种更极端的应用场景，在极短的时间能需要使用大量压缩空气，但是每次用气的间隔周期非常长。这种情况下用一个较小的压缩机、但有较高的排气压力，再配置一个储气罐，这样的配置组合非常适合这样的极端应用场景。下面这个公式可用于这种场景的储气罐选型计算： 储气罐容积 (l); q = 泄空阶段空气流速 (l/s); t = 泄空阶段时间 (s); p1 = 网络中额定工作压力 (bar); p2 = 消费者运行中的较小压力 (bar); L = 充盈期空气需求（1/工作周期）该公式没有考虑压缩机在排空阶段也能提供压缩空气。这种应用较有表示性的是大型船舶发动机启动用压缩空气，这种应用中储气罐的充气压力是30 bar。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。

压缩空气管网设计当设计与确定压缩空气网络时，首先需要有管网及用气系统的设备列表，所有用气设备，和一张标明了各用气点位置的布局图。用气点可以按照一定的逻辑进行分类编组并由同一供气支管供气。当然一个供气主管路为每个供气支管供气。一个完整的压缩空气管网有四个主要部分：供气主管供气支管设备连接管管道配件供气主管把压缩空气从压缩机房输送到用气区域领域。供气支管是将主管内的空气引到用气区域，设备连接管将支管与用气设备连接起来。气体管道宜采用无缝钢管。杭州不锈钢气体管道设计流程

压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。江苏室内气体管道设计注意事项

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”江苏室内气体管道设计注意事项