上海大楼气体管道设计施工规范

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气次数为每小时1～3次的通风措施。上海大楼气体管道设计施工规范

高纯气体的配管及材质，高纯气体管路的设计要点：1.对于不同特性的气体，要规划单独的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。杭州高纯气体管道设计要求高纯气体管道应采用承插焊接。

气体管道设计安全技术：1、气体管道设计的安全技术应符合下列规定：2、每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。3、各种气体管道应设置明显标志。4、使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。5、气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对曰用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。6、氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全问题都有要求。

管道设计标准：一、管道直径的确定，管道直径的确定取决于气体的流量和运输的距离。如果管道直径过小，会导致气体流量不足，影响气体的输送效率;如果管道直径过大，不只会浪费材料，还会增加建设成本。二、管道的布局，在气体管道的布局设计中，需要考虑管道连接的数量和位置、管道的支撑方式等因素。合理的管道布局可以保证气体输送的平稳和安全。三五、管道的安装，在气体管道的安装过程中，需要特别注意管道的密封和固定。如果安装不当，会导致气体泄漏和管道破裂等安全问题。以上就是芯片净化车间建设中工业气体管道设计的必须知道的标准。只有在严格遵守这些标准的前提下，才能保证净化车间的高效运行和安全生产。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

负压吸引系统技术要求，吸引系统负压在大气环境下不高于0.02MPa（150mmHg），不低于0.07MPa（525mmHg），并能在该范围内任意调节。医院各病区及各手术室应装有精度不低于1.5级的真空表。传染病房与一般病房若共用一套吸引系统时，则传染病房系统应设置真空罐及过滤器与之隔离。中心吸引站应有报警装置，当负压值高于0.019MPa（140mmHg）或低于0.073 MPa（550mmHg）时，在55db(A)噪音环境下，在1.5m范围内应听到声报警和看到红色的光报警。吸引系统排气口所排出的空气，每立方米细菌数目不得超过500个。中心吸引站室内噪音不超过80db(A)，室外不超过60 db(A)。吸引系统应有可靠的接地装置，接地电阻应小于10Ω。氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。杭州高纯气体管道设计要求

使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。上海大楼气体管道设计施工规范

外购气体供气，由集中制气工厂制取的液态气体由低温液态气体贮罐槽车运送至用气工厂，再使用工厂设置低温液态气体贮罐，将液态气体槽车中的液态气体抽送入液态气体贮罐贮存，根据工厂用气量，液态气体由贮罐送出经汽化器化为气体后，经由调压器组调压并经气体过滤器送去使用车间，若气体纯度或杂质含量不能满足使用要求，则需要再在车间内设置末端提纯装置，对气体进行提纯并去除杂质，同时为满足不同需求，还应在工厂使用车间末端或在车间内集中设置不同过滤精度的气体过滤器，示意图如下：上海大楼气体管道设计施工规范