浙江实验室气体管道设计连接图

输送距离和路线，在确定输送方式和所需动力时，除按输送距离合理选择输送方式外，对输送路线亦需进行合理布置，因为气力输送系统随管道的布置不同，所需功率或输出能力差别很大。吸气口、排气口以及检查孔，吸气口、排气口和检查修理孔必须不受外部灰尘、雨雪等的侵入，排气口的含尘量不应超过规定值，要根据情况安排灰尘滤清器和除尘装置。压气机械的噪声主要产生在吸气口和排气口，并且具有方向性。根据周围的情况，在需要降低其噪声时，可以把压气机械安置在单独的屋内，或采用适当的消声器，也可以将排气排入专门的隔离室或朝向周围不受噪声影响的地方。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。浙江实验室气体管道设计连接图

辅助系统的设计。气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。材料的选择。特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。杭州氮气气体管道设计按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

气体管道设计规范：1.气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99% 的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2.管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳胶管。3.阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其他气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材抖。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。4.气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。5.各种气体管道应设置明显标志。

医用气体常用参数：常用气体管径的选用，氧气管径的计算式：式中：d=0.0188d—— 管道内径（m），v—— 气体流速（m/s），Q—— 气体在工作状态下的实际体积流量（m3/h ），Q=Q2—— 自由状态下的体积流量（m3/h ），t —— 气体工作状态时温度，p —— 气体工作状态时的尽对压力（MPa），氧气管道中流速较大不应超过下表中数值：氧气工作压力 （MPa） 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10，氧气较大流速 （m/s） 20以下 15 12 10 8 4，真空管道管径：，由于负压管道不易方便精确计算，可参考下表经验数据选取：，吸引管道管径估算表，管径 （mm） 15 20 25 32 40 50，吸引嘴数 （个） 12 21 24 62 84 140。氢气管道不得用螺纹连接。

气路的布线：1. 应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专门使用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。2. 配管时的每根管道每个管件均要用高压的5N高纯氮气进行吹扫才能接入系统，整个系统安装完毕后还要用5N的高纯氮进行大流量气体吹扫，以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。3. 系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验，对整个系统进行检测。应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。江苏气体管道设计要求

高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。浙江实验室气体管道设计连接图

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。浙江实验室气体管道设计连接图